Triton 160是面向工業級客戶使用需求設計的等離子共形涂層設備，適用于各種功能材料大批量涂層應用，在嚴苛環境下延續穩固運行并能保持統一化的等離子沉積結果。 

Triton 160通過優化的體系設計與天真的體系配置方案，實現功能材料的快速、大面積均勻沉積。

Triton 160配備有溫控、液態源輸送體系、自力壓力控制單元等擴展組件可供選擇，為客戶提供完美的等離子批量沉積方案。

設備特點

●13.56MHz射頻電源與主動匹配體系，具有優秀的穩固性與可重復性。

●優化的氣體饋入與分布設計，提供良好的處理均勻性。

●可天真設置的電極及電極的實時可控，知足功能材料的大面積可控沉積。

●精準安全的液態源供給體系，知足不同功能材料的快速大面積沉積。

●PLC與工控機提供穩固的過程控制，設備運行的實時參數通過表現屏直觀呈現。

●體系設置多級管理權限，集簡易的操作體驗與嚴謹的工藝管控與一體。

應用領域

功能材料沉積 

●防水功能材料沉積：用于PCB外觀輕質防水耐腐蝕封裝；可穿戴設備的外觀防水薄膜。

●耐腐蝕材料沉積：醫療電子芯片外觀腐蝕涂層；醫療器械外觀生物相容性薄膜及耐腐蝕薄膜

外觀活化

●提拔外觀能，實現難粘材料的有用結合

●加強外觀膠體流動性，消弭涂敷過程中的空洞

外觀粗化與微刻蝕

●納米級外觀粗化，減小外觀應力

●對多種材料的選擇性刻蝕

尺寸

功率電極尺寸