榮堅五金-一種改善納米鍍膜設備等離子體均勻性裝配

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2022-08-08 13:35:50

擇要：	本實用新型公開了一種改善納米鍍膜設備等離子體均勻性裝配，屬于真空鍍膜技術領域。該裝配中，高頻電源與反應腔室連接，電極與高頻電源連接并安裝于反應腔室內部，化學單體管路和工藝氣體管路與反應腔室連通；化學單體蒸汽和工藝氣體可通過管路通入反應腔室，通過高頻電源電極放電產生等離子體進行化學氣相沉積，形成聚合物涂層。本實用新型通過電極邊緣采用邊緣卷圓或者在電極的邊緣拼接、焊接、鉚接、螺紋裝置圓管、元棒或者定制型材的方法，可消弭電極邊緣電場較強造成的等離子體密度較大的征象；同時采用本實用新型設計的電極經等離子體探針檢測，放電電場均勻度大幅改善，同批次工件鍍膜厚度更加均勻，鍍膜質量明顯進步。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區玉祁鎮玉祁工業園東環路
發明(設計)人：	宗堅
主分類號：	C23C16/513(2006.01)I
分類號：	C23C16/513(2006.01)I
法律狀況
2017/7/28	授權

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權項	1.一種改善納米鍍膜設備等離子體均勻性裝配，其特性在于，包括反應腔室(1)、高頻電源(2)、電極(3)、化學單體管路(4)和工藝氣體管路(5)；所述高頻電源(2)與反應腔室(1)連接，電極(3)與高頻電源(2)連接并安裝于反應腔室 (1)內部，所述化學單體管路(4)和工藝氣體管路(5)與反應腔室(1)連通；所述的電極(3)兩端邊緣采用邊緣卷圓或者電極(3)兩端邊緣拼接、焊接、鉚接或螺紋裝置圓管、圓棒或者定制型材。

公開號	206359612U

公開日	2017-07-28

專利代理機構	大連理工大學專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優先權

國際申請

國際宣布

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