上海稷以科技有限公司--導氣桿、真空腔和真空等離子體設備

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2022-08-08 13:37:00

擇要：本發(fā)明涉及真空等離子體設備領域，公開了一種導氣桿、真空腔和真空等離子體設備，導氣桿設置于真空等離子體設備的真空腔內(nèi)，其外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口，外殼上還開有若干個導氣孔；氣體入口與真空腔的進氣孔相連通；氣體經(jīng)進氣孔和氣體入口進入中空腔體內(nèi)，通過導氣孔進入真空腔，再從真空腔的抽氣口中流出。在真空腔內(nèi)設置該導氣桿能夠改動真空腔的氣體均勻性。
申請人：上海稷以科技有限公司
地址： 200241 上海市閔行區(qū)東川路555號戊樓4026室
發(fā)明(設計)人：季文竹彭帆
主分類號： B08B7/00(2006.01)I
分類號： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

擇要：本發(fā)明涉及真空等離子體設備領域，公開了一種導氣桿、真空腔和真空等離子體設備，導氣桿設置于真空等離子體設備的真空腔內(nèi)，其外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口，外殼上還開有若干個導氣孔；氣體入口與真空腔的進氣孔相連通；氣體經(jīng)進氣孔和氣體入口進入中空腔體內(nèi)，通過導氣孔進入真空腔，再從真空腔的抽氣口中流出。在真空腔內(nèi)設置該導氣桿能夠改動真空腔的氣體均勻性。

申請人： 上海稷以科技有限公司

地址： 200241 上海市閔行區(qū)東川路555號戊樓4026室

發(fā)明(設計)人： 季文竹彭帆

主分類號： B08B7/00(2006.01)I

分類號： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

法律狀況

2017-08-08	實質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):B08B 7/00申請日:20170516

2017-07-14	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權(quán)項	1.一種導氣桿，設置于真空等離子體設備的真空腔(1)內(nèi)，其特性在于：所述導氣桿(4)的外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口(3)，所述外殼上還開有若干個導氣孔(4a)；所述氣體入口(3)與所述真空腔(1)的進氣孔(2)相連通；氣體經(jīng)所述進氣孔(2)和所述氣體入口(3)進入所述中空腔體內(nèi)，通過所述導氣孔(4a) 進入所述真空腔(1)，再從所述真空腔(1)的抽氣口(5)中流出。

公開號	106944420A

公開日	2017-07-14

專利代理機構(gòu)	上海立群專利代理事務所(通俗合伙) 31291

代理人	侯莉

頒證日

優(yōu)先權(quán)

國際申請

國際宣布

進入國家日期