易能納米-一種聚對二甲苯有機靶的制備方法

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2022-08-08 13:39:44

擇要：本發明涉及鍍膜工藝技術領域，尤其是涉及一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過在真空條件下,將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機靶，本發明制備的聚對二甲苯有機靶，外觀致密光滑，密度達到聚對二甲苯的理論密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升華時，靶材中的氧及水份的影響極小，用于鍍膜生產，生產品質穩固，并且一次替換靶材可以使用1個月左右時間，無需頻繁換靶，節約鍍膜周期；工藝簡單，投資成本低，節能、環保。
申請人：廣東易能納米科技有限公司
地址： 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術產業開發區工業南路6號2棟307、308室
發明(設計)人：吳子豹
主分類號： C23C16/448(2006.01)I
分類號： C23C16/448(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

擇要：本發明涉及鍍膜工藝技術領域，尤其是涉及一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過在真空條件下,將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機靶，本發明制備的聚對二甲苯有機靶，外觀致密光滑，密度達到聚對二甲苯的理論密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升華時，靶材中的氧及水份的影響極小，用于鍍膜生產，生產品質穩固，并且一次替換靶材可以使用1個月左右時間，無需頻繁換靶，節約鍍膜周期；工藝簡單，投資成本低，節能、環保。

申請人： 廣東易能納米科技有限公司

地址： 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術產業開發區工業南路6號2棟307、308室

發明(設計)人： 吳子豹

主分類號： C23C16/448(2006.01)I

分類號： C23C16/448(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律狀況

2016-08-24	授權

2014-10-29	實質審查的生效 IPC(主分類):C23C 16/448 申請日:20140626

2014-10-08	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種聚對二甲苯有機靶的制備方法，其特性在于：該制備方法采用真空氣相沉積，通過在真空條件下,將粉體聚對二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對二甲苯有機靶，詳細步驟如下：步聚1）、將聚對二甲苯粉稱重并加入真空爐中的加熱槽里；步驟2）、將加工好的靶座安裝在真空爐中；步驟3）、將真空爐抽真空到達1Torr，進行真空等離子清洗，將靶座外觀的水汽及氧去除，并產生肯定粗化結果，增長靶座外觀的結合力；步驟4）、將真空爐抽真空到達0.1Torr，然后通入10sccm的氬氣珍愛，真空爐升溫至150攝氏度，將粉體聚對二甲苯粉升華，同時將靶座通過水冷控制在35攝氏度以內，以便升華的聚對二甲苯沉積在靶座上，真空沉積時間40小時，制備出聚對二甲苯有機靶。

公開號	104087911B

公開日	2016-08-24

專利代理機構	東莞市創益專利事務所 44249

代理人	李衛平

頒證日

優先權

國際申請

國際宣布

進入國家日期