榮堅五金-一種等離子體聚合涂層裝配

WaterOff

2022-08-08 13:41:53

擇要：	一種等離子體聚合涂層裝配，屬于等離子體工程技術領域，該裝配真空室側部的室體內壁任一橫截面為雷同直徑的圓或雷同邊長的正多邊形，正多邊形邊數至少為6邊；真空室內壁處安裝有多孔電極，多孔電極與高頻電源連接，真空室外壁上密封安裝有至少兩個放電腔，放電腔與真空室內壁連接處設置有至少兩層金屬柵網，真空室內的中間軸上豎直安裝有尾氣收集管，真空室內設置有旋轉置物架，所述旋轉置物架的旋轉軸與真空室的中間軸同軸，旋轉置物架上放置待處理基材。該實用新型的裝配采用中間軸對稱真空室結構保持空間聚合反應活性物種濃度的穩固性，具有真空室的容積大，單次處理批量大，處理服從高、成本低、批處理均勻性優秀等好處。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區玉祁鎮玉祁工業園東環路
發明(設計)人：	宗堅
主分類號：	B05B5/08(2006.01)I
分類號：	B05B5/08(2006.01)I B05B15/12(2006.01)I
法律狀況
2017/7/7	授權

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權項	1.一種等離子體聚合涂層裝配，包括真空室，其特性在于：所述真空室(1)側部的室體內壁任一橫截面為雷同直徑的圓或雷同邊長的正多邊形，所述正多邊形邊數至少為6邊；所述真空室(1)內靠近真空室(1)的內壁處安裝有多孔電極(2)，所述多孔電極(2)為與真空室內壁保持間距的多孔弧面結構，所述多孔電極與高頻電源(3)連接，所述真空室外壁上密封安裝有至少兩個放電腔(4)；所述放電腔與真空室內壁連接處設置有至少兩層金屬柵網(5)，所述金屬柵網與真空室內壁絕緣，金屬柵網與脈沖電源(6)連接，所述放電腔(4)內設有放電源(7)，放電源連接供電源(8)，所述放電腔連接有載體氣體管路(9)，載體氣體管路另一端連接到載體氣體源，單體蒸汽管路(10)連接到真空室內，且其出口位于放電腔(4)前方，單體蒸汽管路另一端連接到單體蒸汽源；所述真空室內設置有旋轉置物架(12)，所述旋轉置物架的旋轉軸與真空室的中間軸同軸，旋轉置物架上放置待處理基材。

公開號	206304929U

公開日	2017/7/7

專利代理機構	大連理工大學專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優先權

國際申請

國際宣布

進入國家日期

進入國家日期