榮堅五金-一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝配

WaterOff

2022-08-08 13:43:06

擇要：	一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝配，屬于等離子體技術(shù)領(lǐng)域。在該裝配中，主真空室壁上安裝多個放電腔，在每個放電腔通往主真空室的開口處安裝一個平面接地柵網(wǎng)；在每個放電腔內(nèi)安裝多孔電極板，多孔電極板與柵網(wǎng)平行并保持間隙，通過絕緣支架固定在放電腔壁上，并通過導(dǎo)線連接小功率高頻電源，其上均勻分布通孔；載體氣體管路和單體蒸汽管路分別連接到每個放電腔內(nèi)，真空排氣管連接到主真空室內(nèi)，待處理的基材放在主真空室內(nèi)部。本實用新型裝配具有等離子體空間分布均勻，批處理產(chǎn)品質(zhì)量均一性好，等離子體能量、密度較低，化學(xué)單體結(jié)構(gòu)不易被過度破壞，形成的聚合物涂層質(zhì)量好，各放電腔能夠靠近安裝，互相之間不干擾等好處。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)玉祁工業(yè)園東環(huán)路
發(fā)明(設(shè)計)人：	宗堅
主分類號：	B05B5/10(2006.01)
分類號：	B05B5/10(2006.01) B05B5/08(2006.01)
法律狀況
2017/6/6	授權(quán)

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權(quán)項	1.一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝配，其特性在于：在主真空室(1)壁上安裝多個放電腔(2)，在每個放電腔(2)通往主真空室(1)的開口處安裝一個平面接地柵網(wǎng)(3)，在每個放電腔(2)內(nèi)靠近柵網(wǎng)(3)處安裝多孔電極板(4)，多孔電極板(4)與柵網(wǎng)(3)平行并保持間隙，多孔電極板(4)通過絕緣支架(10)固定在放電腔(2)壁上，多孔電極板(4)通過導(dǎo)線(11)連接小功率高頻電源(5)，多孔電極板(4)上均勻分布通孔，載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)分別連接到每個放電腔(2)內(nèi)，載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)另一端分別連接到載體氣體源和單體蒸汽源，真空排氣管(8)連接到主真空室(1)內(nèi)，真空排氣管另一端連接到真空泵，待處理的基材(9)放在主真空室(1)內(nèi)部，且位于放電腔(2)外部。

公開號	206215404U

公開日	2017/6/6

專利代理機(jī)構(gòu)	大連理工大學(xué)專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優(yōu)先權(quán)

國際申請

國際宣布

進(jìn)入國家日期

進(jìn)入國家日期