榮堅(jiān)五金- 一種基材活動(dòng)式等離子體放電制備納米涂層的設(shè)備及方法

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2022-08-08 13:45:28

擇要：	一種基材活動(dòng)式等離子體放電制備納米涂層的設(shè)備及方法，屬于等離子體技術(shù)領(lǐng)域，設(shè)備包括：電極、真空排氣裝配、氣體管路、基材固定裝配，基材固定裝配可以在活動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下在電極形成的空間內(nèi)部產(chǎn)生活動(dòng)，通入單體蒸汽到反應(yīng)腔室內(nèi)，進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，沉積過程包括預(yù)處理階段和鍍膜階段，預(yù)處理階段等離子體放電方式為大功率延續(xù)放電，鍍膜階段等離子體放電方式為小功率延續(xù)放電。涂層制備過程中，基材的活動(dòng)特征和等離子體放電能量組合聯(lián)動(dòng)。制備過程中等離子體放電的同時(shí)，基材產(chǎn)生活動(dòng)，進(jìn)步了涂層沉積服從，并改善了涂層厚度的均勻性和致密性。所制備的涂層具有防水防潮，防霉菌，耐酸、堿性溶劑，耐酸、堿性鹽霧等特征。
申請(qǐng)人：	無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)玉祁工業(yè)園東環(huán)路
發(fā)明(設(shè)計(jì))人：	宗堅(jiān)
主分類號(hào)：	C23C16/513(2006.01)
分類號(hào)：	C23C16/513(2006.01) B82Y40/00(2011.01)
法律狀況
2017/8/11	實(shí)質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):C23C 16/513申請(qǐng)日:20170521
2017/7/18	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時(shí)正確的法律狀況信息須到國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。
其他信息


主權(quán)項(xiàng)

公開號(hào)	106958012A

公開日	2017-07-18

專利代理機(jī)構(gòu)	大連理工大學(xué)專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優(yōu)先權(quán)

國(guó)際申請(qǐng)

國(guó)際宣布

進(jìn)入國(guó)家日期