榮堅五金-一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝配

WaterOff

2022-08-08 13:49:54

擇要：	本發明一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝配，屬于真空鍍膜技術領域。該裝配中，腔室頂部連接抽氣口，腔室中間軸位置安裝有中空管，中空管上端連接到抽氣口，腔室底部安裝有旋轉電機，旋轉電機上安裝有行星回轉貨架；所述行星回轉貨架中，旋轉軸與旋轉電機連接，旋轉軸與中空管同軸，旋轉軸上固定設置旋轉置物架，旋轉置物架上對稱設置有至少兩根行星旋轉軸，行星轉轉軸上設置至少一層置物臺，置物臺上放置待處理的工件。本發明的有益結果：鍍膜過程中行星回轉貨架公轉和自轉持續雙重旋轉，避免出現因各區域化學單體氣體密度不均勻造成固定區域的工件涂層厚度不均勻征象。同時，行星回轉貨架轉動也有利于將進入腔室內的化學單體氣體充分混合均勻。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區玉祁鎮玉祁工業園東環路
發明(設計)人：	宗堅
主分類號：	C23C16/458(2006.01)I
分類號：	C23C16/458(2006.01)I
法律狀況	實質審查的生效 IPC(主分類):C23C 16/458申請日:20161130
2016/11/9	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
其他信息
實質審查的生效 IPC(主分類):C23C 16/458申請日:20161130	一種電火花等離子體引發聚合外觀涂層裝配，其特性在于：在真空室(1)內間隔安裝多個火花塞(2)，構成陣列，火花塞(2)與電源(7)連接，單體蒸汽管路(3)連接在真空室內，單體蒸汽管路(3)在位于火花塞(2)的正前方設置出口，單體蒸汽管路另一端連接到單體蒸汽源，排氣管(4)位于真空室(1)闊別火花塞(2)和單體蒸汽管路(3)出口的一側，排氣管(4)另一端與真空泵(5)連接，待處理的基材(6)放在真空室(1)內。

公開號	106622892A

公開日	2017-05-10

專利代理機構	大連理工大學專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優先權

國際申請

國際宣布

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