HZO-優化通過材料沉積設備的前驅材料的蒸發的船形器皿

WaterOff

2022-08-08 13:56:12

擇要：根據本發明的船形器皿包括被布置用以限制具有內部的容器的基底和側壁。船形器皿的底部可具有凸構形。在特定實施例中，基底可具有凸構形，諸如圓柱的彎曲外觀的一部分的外形，端壁位于基底的相對端處。這種船形器皿可具有月牙形構形。每個船形器皿可被構形為靠著另一個船形器皿放置，使得能夠組裝多組船形器皿。還公開了容納并有用地增長前驅材料的外觀積的多單元結構。多單元結構可被構形為在船形器皿的內部中使用，或單獨使用，而沒有單獨的船形器皿。還公開了被構形為容納船形器皿和/或多單元結構的蒸發腔和材料沉積設備，以及用于將前驅材料引入材料沉積設備中的方法。
申請人： HZO股份有限公司
地址：美國猶他
發明(設計)人： J·登普斯特 J·梅納德
主分類號： A99Z99/00(2006.01)I
分類號： A99Z99/00(2006.01)I

擇要：根據本發明的船形器皿包括被布置用以限制具有內部的容器的基底和側壁。船形器皿的底部可具有凸構形。在特定實施例中，基底可具有凸構形，諸如圓柱的彎曲外觀的一部分的外形，端壁位于基底的相對端處。這種船形器皿可具有月牙形構形。每個船形器皿可被構形為靠著另一個船形器皿放置，使得能夠組裝多組船形器皿。還公開了容納并有用地增長前驅材料的外觀積的多單元結構。多單元結構可被構形為在船形器皿的內部中使用，或單獨使用，而沒有單獨的船形器皿。還公開了被構形為容納船形器皿和/或多單元結構的蒸發腔和材料沉積設備，以及用于將前驅材料引入材料沉積設備中的方法。

申請人： HZO股份有限公司

地址： 美國猶他

發明(設計)人： J·登普斯特 J·梅納德

主分類號： A99Z99/00(2006.01)I

分類號： A99Z99/00(2006.01)I

法律狀況

2015-12-23	實質審查的生效IPC(主分類):A99Z 99/00申請日:20140729

2015-11-25	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種材料沉積設備，包括：蒸發腔，其包括用于容納至少一個船形器皿的凹外觀；以及至少一個船形器皿，其用于將前驅材料引入蒸發腔中，所述至少一個船形器皿包括被構形為與蒸發腔的凹外觀互補的凸外觀。

公開號	105102087A

公開日	2015-11-25

專利代理機構	中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038

代理人	張濤

頒證日

優先權	2014.03.01 US 61/946,709;2014.07.29 US 14/445,628

國際申請	2014-07-29 PCT/US2014/048602

國際宣布

進入國家日期	2014.11.12