·上海稷以科技-導氣桿、真空腔和真空等離子體設備

WaterOff

2022-08-08 14:01:45

摘要：本發明涉及真空等離子體設備領域，公開了一種導氣桿、真空腔和真空等離子體設備，導氣桿設置于真空等離子體設備的真空腔內，其外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口，外殼上還開有若干個導氣孔；氣體入口與真空腔的進氣孔相連通；氣體經進氣孔和氣體入口進入中空腔體內，通過導氣孔進入真空腔，再從真空腔的抽氣口中流出。在真空腔內設置該導氣桿能夠改進真空腔的氣體均勻性。
申請人：上海稷以科技有限公司
地址： 200241 上海市閔行區東川路555號戊樓4026室
發明(設計)人：季文竹彭帆
主分類號： B08B7/00(2006.01)I
分類號： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

摘要：本發明涉及真空等離子體設備領域，公開了一種導氣桿、真空腔和真空等離子體設備，導氣桿設置于真空等離子體設備的真空腔內，其外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口，外殼上還開有若干個導氣孔；氣體入口與真空腔的進氣孔相連通；氣體經進氣孔和氣體入口進入中空腔體內，通過導氣孔進入真空腔，再從真空腔的抽氣口中流出。在真空腔內設置該導氣桿能夠改進真空腔的氣體均勻性。

申請人： 上海稷以科技有限公司

地址： 200241 上海市閔行區東川路555號戊樓4026室

發明(設計)人： 季文竹彭帆

主分類號： B08B7/00(2006.01)I

分類號： B08B7/00(2006.01)I B08B13/00(2006.01)I

法律狀態

2017-08-08	實質審查的生效 IPC(主分類):B08B 7/00申請日:20170516

2017-07-14	公開

注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	1.一種導氣桿，設置于真空等離子體設備的真空腔(1)內，其特征在于：所述導氣桿(4)的外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口(3)，所述外殼上還開有若干個導氣孔(4a)；所述氣體入口(3)與所述真空腔(1)的進氣孔(2)相連通；氣體經所述進氣孔(2)和所述氣體入口(3)進入所述中空腔體內，通過所述導氣孔(4a) 進入所述真空腔(1)，再從所述真空腔(1)的抽氣口(5)中流出。

公開號	106944420A

公開日	2017-07-14

專利代理機構	上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291

代理人	侯莉

頒證日

優先權

國際申請

國際公布

進入國家日期