優普萊-一種微波等離子體源和遠程微波等離子體裝置

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2022-08-08 14:08:07

摘要：本發明公開了一種微波等離子體源和遠程微波等離子體裝置，包括微波等離子體源，微波等離子體源裝入不同形式的真空室內，構成不同形式的遠程微波等離子體裝置，微波等離子體源由微波腔、產生等離子體的介質容器和產生微波的磁控管及其供電電源組成，微波腔由矩形波導制成，在矩形波導一端離短路板距離為λg/4處，磁控管的天線在圓孔中心伸入矩形波導，磁控管的天線距這一端的短路板18.6mm，介質管的一端接裝有進氣口的法蘭，與介質管通過O形膠圈形成真空密封連接。用本遠程微波等離子體裝置可進行多種物件的表面處理，可使得物件表面變得更加光滑，產量增加，對水的接觸角從未處理的115°減少到85°。
申請人：深圳優普萊等離子體技術有限公司
地址： 518000 廣東省深圳市南山區粵海街道科技園中區科苑路科興科學園A1棟601
發明(設計)人：鄔欽崇鄔明旭全峰
主分類號： H05H1/46(2006.01)I
分類號： H05H1/46(2006.01)I

摘要：本發明公開了一種微波等離子體源和遠程微波等離子體裝置，包括微波等離子體源，微波等離子體源裝入不同形式的真空室內，構成不同形式的遠程微波等離子體裝置，微波等離子體源由微波腔、產生等離子體的介質容器和產生微波的磁控管及其供電電源組成，微波腔由矩形波導制成，在矩形波導一端離短路板距離為λg/4處，磁控管的天線在圓孔中心伸入矩形波導，磁控管的天線距這一端的短路板18.6mm，介質管的一端接裝有進氣口的法蘭，與介質管通過O形膠圈形成真空密封連接。用本遠程微波等離子體裝置可進行多種物件的表面處理，可使得物件表面變得更加光滑，產量增加，對水的接觸角從未處理的115°減少到85°。

申請人： 深圳優普萊等離子體技術有限公司

地址： 518000 廣東省深圳市南山區粵海街道科技園中區科苑路科興科學園A1棟601

發明(設計)人： 鄔欽崇鄔明旭全峰

主分類號： H05H1/46(2006.01)I

分類號： H05H1/46(2006.01)I

法律狀態

2017-06-09	實質審查的生效 IPC(主分類):H05H 1/46申請日:20170320

2017-05-17	公開

注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種微波等離子體源和遠程微波等離子體裝置，其特征在于：包括微波等離子體源，微波等離子體源裝入不同形式的真空室內，構成不同形式的遠程微波等離子體裝置，微波等離子體源由微波腔、產生等離子體的介質容器和產生微波的磁控管及其供電電源組成，微波腔由矩形波導制成，在矩形波導一端離短路板距離為λg/4處，有介質制成的管穿過H面，矩形波導的另一端的H面的中軸線上開一個圓孔安裝磁控管，磁控管的天線在圓孔中心伸入矩形波導，磁控管的天線距這一端的短路板18.6mm，介質管的一端接裝有進氣口的法蘭，與介質管通過O形膠圈形成真空密封連接，進氣口通過O形膠圈與氣路系統的輸氣管道相連接，介質管的另一端通過密封法蘭和O形膠圈與真空室形成真空密封連接。

公開號	106686876A

公開日	2017-05-17

專利代理機構

代理人

頒證日

優先權

國際申請

國際公布

進入國家日期