首先，何為CVD鍍膜法？

所謂CVD（化學(xué)氣相沉積），就是對(duì)材料氣體進(jìn)行加熱，等離子分解，再使其沉積到基材外觀的鍍膜方法。可形成覆蓋性優(yōu)秀的薄膜。

CVD工藝，是將具有蒸汽壓力的原材料進(jìn)行氣化，以氣體狀況供給到反應(yīng)槽，給予其肯定的能量使其進(jìn)行分解?反應(yīng)，并在基材的外觀沉積形成薄膜。

熱力CVD工藝，是通過熱源將質(zhì)料氣體進(jìn)行分解進(jìn)行成膜的。

比如:對(duì)硅烷（SiH4）進(jìn)行熱分解，可形成多結(jié)晶硅Si。此時(shí)假如在氧氣氣氛下進(jìn)行分解的話，可以形成SiO2。

通俗的熱力CVD，因質(zhì)料氣體的供給因部位的不同而存在多少之分，會(huì)有厚度不均勻的情況。

假如使用減壓CVD（LPCVD）這一方法，可延伸分子的平均自由行程，使得分子更易于擴(kuò)散，得到進(jìn)步膜厚均一性的結(jié)果。

假如使用高頻能量代替高熱力能量的話，可實(shí)現(xiàn)低溫狀況下鍍膜。

此制備方法被稱為PlasmaCVD（等離子CVD）。

電極與基材相對(duì)，通過高頻放電，將原材料進(jìn)行分解鍍膜。

質(zhì)料氣體種類雄厚多彩

Bulk Silane Installation (CGA)

為了使用硅烷必須具備人員防護(hù)體系

小我防護(hù)器具

必須有充足的考量用以珍愛人員。

•General Cylinder Handling 一樣平常鋼瓶操作

-leather gloves 皮手套

-Faceshield in addition to safety glasses 安全眼鏡外加懸掛面罩

-leather gloves or equivalent flame resistant hand protection 皮手套或劃一級(jí)防火手部防護(hù)

•Emergency Operations 緊急應(yīng)變操作

-Full body Nomex with hood 全身連帽Nomex防護(hù)服

Silane Incidents 硅烷相干事故

•Accidental backflow of Nitrous Oxide into Silane Cylinder – System Design Issue 一氧化二氮 不測倒流流入硅烷鋼瓶–體系設(shè)計(jì)題目

•Cylinder Connection Leak Incident, US 2004 – Improper cylinder connection 2004年,美國鋼瓶銜接點(diǎn)走漏事故- 接頭不良

•Taiwan, Silane Explosion, Nov. 23, 2005 – Operation Issue 2005 年11 月23日, 臺(tái)灣硅烷爆炸–操作緣故原由

•Silane Leak & Explosion Changsha, China Aug 17, 2009 –Operation Issue 2009 年8月17日, 中國長沙硅烷走漏及爆炸–操作因素

•Silane fire in South China, Jul. 20 2011 – System Design Issue 2011 年7月硅烷火災(zāi)，中國南方– 體系設(shè)計(jì)題目

HEXAMETHYLDISILOXANE

Vapor pressure 55mmHg(30℃）

優(yōu)勝的質(zhì)料氣體與鍍膜工藝結(jié)合

這種優(yōu)勝的質(zhì)料氣體與神鋼KOBELCO等離子CVD技術(shù)的完善搭配，為大型水汽組隔膜的量產(chǎn)線增長了保障。目前日本的面向OLED，QD的水汽組隔膜制造商都在使用神鋼KOBELCO的CVD設(shè)備進(jìn)行產(chǎn)品的制造。

納米防水網(wǎng)：/