在納米防水網，我們經常會遇到一個問題：“我的xxx可以被聚對二甲苯涂層嗎？” 可以用聚對二甲苯涂覆的基材表面數量很多。在下表中列出了使用聚對二甲苯保形涂料的許多工業應用。這些示例可以擴展。

表：使用聚對二甲苯保形涂層的設備示例。

基材表面/聚對二甲苯相互作用/基材表面準備，界面清潔度，表面能：通過Parylene CVD沉積，可以在幾乎所有類型的材料上獲得無應力和無缺陷的保形涂層。這種涂層的一些例子在圖中示出。

（a）在汽車工業中使用的傳感器可能容易受到高溫，碳氫化合物，濕氣的影響。這種環境會導致傳感器的鋁制接觸墊快速腐蝕。在這些墊上使用聚對二甲苯可以保護它們，并且很常用[1]。

（b）聚對二甲苯還可以用作MEMS器件的掩膜材料，因為它具有填充縫隙的能力，在底切下填充的圖像中，它可以作為間隔物以生產100 nm寬的納米線（插圖）。在該研究中，它與聚合物抗蝕劑，硅，碳化硅和鉑形成界面[2]。在圖（c和d）中，我們看到可以使用聚對二甲苯代替玻璃包裝，從而減小了包裝的尺寸和重量。此外，聚對二甲苯可以與其他薄層（如SiO2）結合在一起形成多層涂層如圖2所示。應用和可能性的多樣性使聚對二甲苯成為極具吸引力的保形涂料。

但是，在開始沉積過程之前，需要執行一些步驟。為了防止分層，針孔，裂縫，皺紋，水泡和其他類型的薄膜缺陷，不同類型的表面需要不同的表面處理。我們討論以下一些常見類型作為要點：

聚對二甲苯/材料系統示例：

• PCB：聚對二甲苯最常見的應用領域是PCB，作為電子組件，焊點和電線的保護涂層。它形成了一層保護層，以防止機械沖擊和腐蝕性元素的擴散[11]。

• 硅晶圓：晶圓鍵合中間層[12]，作為硅化學蝕刻的掩模[13]，

• 陶瓷/玻璃：A-174硅烷溶液預處理可以改善Parylene-C薄膜在平板玻璃基板樣品上的附著力[14]。

• 金屬/合金：聚對二甲苯廣泛用于涂覆傳感器墊。（圖（a）顯示了一個塑料封裝的硅壓力傳感器[1]）。聚對二甲苯本身與貴金屬（如金和鉑）的粘合性較差。為了促進它們的粘合，可以使用市售的粘合促進劑，據報道，在這種界面上粘合強度提高了100倍，并觀察到了相應的耐濕氣剝離性提高[15]。

• 聚對二甲苯–金屬–聚對二甲苯夾層結構可作為柔性電極，傳感器生產，通常作為生物相容性植入物生產[16] – [18]。

• 聚對二甲苯-聚對二甲苯的沉積是可能的，但需要進行后處理才能通過熱處理形成化學穩定的界面[16]，[19]。

• 聚合物：光致抗蝕劑上的聚對二甲苯C可以通過改善抗蝕劑的粘附力來實現，聚對二甲苯可以引入改進的硅烷化預處理，包括熱處理以從抗蝕劑表面去除羥基。[2]

• 在油上：當油的蒸汽壓低（<5 Pa）時，可以在頂部沉積聚對二甲苯[3]。涂在油上的聚對二甲苯應力很小，可以忽略不計[4]。聚對二甲苯上油沉積法（CVD）已用于制備長期可植入的壓力傳感器[5]，從油中提取光學透鏡[6] – [8]并通過在沉積后分離聚對二甲苯來制備隔離的聚對二甲苯膜[9]，[10]。

   

參考資料

[1] M. Kraft和NM White，《汽車和航空航天應用的備忘錄》。Elsevier，2013年。

[2] Y. Li 等。，“聚對二甲苯光致抗蝕劑（POP）：用于聚合物/金屬納米線制造的低溫墊片方案”，《微機械微工程》，第1卷。21號 6，第 067001，2011年4月，doi：10.1088 / 0960-1317 / 21/6/067001。

[3] A. Homsy 等。，“固態沉積，技術解決方案的綜述”，Microelectron。。，卷 141，第267-279頁，2015年6月，doi：10.1016 / j.mee.2015.03.068。

[4]“聚對二甲苯在液體上沉積的拉伸膜應力| 朗繆爾。” https://pubs.acs.org/doi/10.1021/la102790w(2020年4月26日訪問）。

[5] AM Shapero，Y。Liu和Y.-C。Tai，“用于長期植入式壓力傳感器的聚對二甲苯上油包裝”，Biomed。微型卷。18號 4，第 66，2016年7月，doi：10.1007 / s10544-016-0089-4。

[6] Binh-Khiem Nguyen，Eiji Iwase，Kioshi Matsumoto和Isao Shimoyama，“通過將聚對二甲苯直接沉積在液體上而制成的電驅動變焦光學微透鏡”，在2007年IEEE第20屆國際微電子機械系統（MEMS）會議上， 2007，第305–308頁，doi：10.1109 / MEMSYS.2007.4433059。

[7] T. Kan，H。Aoki，N。Binh-Khiem，K。Matsumoto和I. Shimoyama，“使用兩種熒光染料溶解在由聚對二甲苯膜封裝的離子液體中的比率光學溫度傳感器”，傳感器，第1期。13號 4，第4138–4145頁，2013年4月，doi：10.3390 / s130404138。

[8] WF Gorham，“一種制備線性聚對二甲苯的新型通用合成方法”，J。Polym。科學 [A1]，第一卷。4，沒有 12，pp。3027-3039，1966，doi：10.1002 / pol.1966.150041209。

[9] H. Keppner和M. Benkhaira，“生產塑料膜裝置的方法和由此獲得的裝置”，US20090246546A1，2009年10月1日。

[10] N. Binh-Khiem，K。Matsumoto和I. Shimoyama，“多孔聚對二甲苯和液體對沉積在液體上的聚對二甲苯薄膜的影響”，在2011年IEEE第24屆微機電系統國際會議上，第pp 。111–114，doi：10.1109 / MEMSYS.2011.5734374。

[11] A. Hogg，“用于植入式醫療設備的超薄層包裝的開發和特性”，第134頁。219。

[12] H. Noh，K。Moon，A。Cannon，PJ Hesketh和CP Wong，“使用聚對二甲苯中間層的微波加熱進行晶圓鍵合”，《微機械微工程》，第1卷。14號 4，第625–631頁，2004年4月，doi：10.1088 / 0960-1317 / 14/4/025。

[13]盧希文，郭文成，楊耀喬和泰玉崇，“重結晶聚對二甲苯用作硅化學蝕刻的掩模”，在2008年第三屆IEEE納米/微工程和分子系統國際會議上，2008年1月，第881–884頁，doi：10.1109 / NEMS.2008.4484464。

[14]“聚對二甲苯-C薄膜的粘合性能| Scientific.Net。” https://www.scientific.net/AMM.421.337(2020年4月26日訪問）。

[15]“薄膜聚對二甲苯系統在干濕環境中的粘合特性和改性-IEEE Journals＆Magazine”，訪問：2020年4月26日。[在線]。可用：https：//ieeexplore.ieee.org/abstract/document/8418313。

[16] RP von Metzen和T. Stieglitz，“退火對聚對二甲苯C的機械，化學和物理性質以及結構穩定性的影響”，Biomed。微型卷。15號 5，第727–735頁，2013年10月，doi：10.1007 / s10544-013-9758-8。

[17] W. Li，DC Rodger，E。Meng，JD Weiland，MS Humayun和Y.-C。Tai，“用于視網膜假體的柔性聚對二甲苯包裝的眼內線圈”，在2006年國際醫學和生物學微技術會議上，2006年5月，第105-108頁，doi：10.1109 / MMB.2006.251502。

[18] S. Minnikanti 等。，“使用加速老化測試和電化學表征對用于神經界面的原子層沉積的Al2O3-Parylene C雙層涂層進行終身評估，” Acta Biomater。，卷 10號 2，第960-967頁，2014年2月，doi：10.1016 / j.actbio.2013.10.031。

[19] J. Ortigoza-Diaz 等。，“ Parylene C微機電系統微細加工中的技術和注意事項”，《微機械》，第一卷。9號 2018年8月9日，doi：10.3390 / mi9090422。