簡介：

Suragus面阻測試儀來自德國，其通過渦流的原理測量材料面阻值，該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定，對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

規格參數：

測量模式：非接觸式實時測量

襯底：foils, glass, wafer等

最大掃描尺寸：10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

檢測間距：2 / 5 / 10 / 25 mm （取決于不同樣品厚度和應用）

面阻范圍： 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依據面阻而定）

掃描間距：1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)

檢測速度：

4 inch / 200 x 200 mm約  0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch)；

8 inch / 200 x 200 mm 約1.5 ~ 15 minutes (1 – 10 mm pitch)。

設備尺寸：23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg

其他選件：各向異性；光透過率。