上期介紹的真空泵是獲得真空狀況的工具，但是怎么知道真空度達到了什么水平呢？這個就要靠真空的測量工具——真空計。下面跟小編來熟悉一下真空計吧。

絕對真空計

直接測量真空度的量具，如U型計、壓縮真空計(麥克勞真空計)。

相對真空計

直接測量與壓強有關(guān)的物理量，再與絕對真空計相比較進行標定的真空計。

熱偶真空計(熱傳導真空計)

測量范圍：100-10-1Pa

測量下限：熱絲溫度較高，氣體分子熱傳導很小，熱絲引線自己的熱傳導和熱輻射引起的熱量減小占主導地位，這兩部分與壓強無關(guān)。

熱電偶規(guī)管及其電路原理

熱陰極電離真空計

原理：電子與氣體分子碰撞引起分子電離，形成電子和正離，電子最終被加速極收集，正離子被收集極接收形成離子流：

I+ = kIe p = cp
其中，k稱為電離計的靈敏度，是單位電子電流、單位壓強下的離子流。
測量范圍：1.33×10-1 ～1.33×10-5 Pa

測量下限：高速電子打到加速極G → G產(chǎn)生軟x射線 →軟x射線射向收集極c → 收集極c產(chǎn)生光電發(fā)射 → 產(chǎn)生電子流Ix → Ix與I+方向相反，與壓強無關(guān)。

B—A真空計 (超高真空熱陰極電離計)

50年代初，Bayard 和Alpert經(jīng)過改動電離規(guī)，減小光電流，減小受照面積，制成B-A規(guī)，收集極面積減小了100—1000倍，測量下限也降低100—1000倍。

Ф0.2mm的鎢絲測量下限可達10-8 ~10-9 pa

Ф4 μm 的鎢絲測量下限可達10-10 pa

B-A真空規(guī)管
1. 離子收集極；2. 加速極（柵極）3. 陰極燈絲；4. 外殼

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