一、概述

　　目前低溫等離子體（溫度為2000～50000K）已得到廣泛應用，工業上已成為一種緊張的工藝手段，例如用等離子弧進行切割、焊接、噴涂；制造各種新鮮的光源和表現器；熱電直接轉換的磁流體發電等。在化工部門，等離子體化學已成為一個十分活躍的新領域。在微電子工業，等離子體刻蝕和氣相沉積應用得十分廣泛。以上情況注解，低溫等離子體已漸漸滲透到許多領域，展示了廣闊的前景。

　　二、用微波激發等離子體有如下好處

　　1.有較高的電離和分解程度

　　2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比特別很是高，運載氣體保持合適的溫度。這個特征，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高。

　　3.能在高氣壓下維持等離子體。

　　4.沒有內部電極，在等離子容器內，沒有工作氣體以外的任何物質，是潔凈的，無污染源。等離子發生器可以保持長壽命。

　　5.等離子可以采用磁束縛的方法，束縛在約定的空間內，微波結和磁路可以兼容。

　　6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波走漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的。

　　7.微波發生器是穩固的，易控的。

　　8.微波等離子體，在很多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。

　　三、微波激發等離子體的多種情勢

　　1.微波傳輸線協調振腔。

　　2.慢波結構邊緣場。

　　3.近場微波天線。

　　4.同軸基外觀波激發等離子體柱和波導基外觀波激發等離子體柱。

　　5.行使電子回旋共振激發等離子體。

　　微波制茶工藝

　　臨界點溫度，特別很是適合綠茶及其它特種茶的殺青和干燥作業。茶葉的有用營

　　食品工業

　　制藥工業

　　微波可對1－6公分厚的木板進行均勻、快速烘干，干燥只需十幾分鐘，且不開裂變　形小，同時殺死木材內部的卵蟲和幼蟲；也可對膠合板或拼板膠接的固化處理以及竹成品干燥、滅霉、殺菌

　　日本用2450MHz、5～10kw對輪胎作一次加熱，升溫到硫化溫度后用熱風　保溫，可硫化3～4 噸重量的輪胎；美國采用915MHz、50kw作為輻射熱器行使程序控制對大型輪胎進行旋轉掃描，其好處是加熱均勻、硫化時間縮短三分之一。我　公司研制的微波橡膠硫化設備在造型、結構、性能、硫化質量等方面均可和日本、德國等進口設備相媲美。

　　用微波可在較低溫度下滅菌殺蟲。可處理食品、藥品、煙草、木材等，升溫速度快不受物料厚度、外形影響。

　　原煤中的硫以黃鐵礦情勢出現，黃鐵礦比煤有更高的因此行使微波可使黃鐵礦得到選擇性加熱與氣體發生反應，進行脫硫。而煤不受影響。理想的方法是以持續　時間為0.1秒的脈沖波進行間歇式加熱，將黃鐵礦石加熱到650℃的高溫。這種方法去硫結果好，不需昂貴的催化劑，節省資金高，環境污染小。

　　半導體生產工藝中已經采用微波等離子體技術，進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片；還可用于金屬、合金、非金屬的外觀處理；用于等離子體光譜分析可檢測十幾種元素。

　　微波生物效應分熱效應和非熱效應。其熱效應在醫療方面可進行微波理療、配合放療和化療進行透熱治癌；另外還可以行使微波加熱血漿、解凍冷藏器官；還可設計微波手術刀，開刀止血快、出血量少。

　　微波測量精度高，適宜于生產中延續測量和已廣泛用于測距、測溫、測厚測速等方面。　　微波可進行陶瓷的均勻致密化燒結，最高溫度可達2000℃，獲得大尺寸的邃密陶瓷

      上面的內容就是微波等離子體的原理上風和作用行業的一些詳細的介紹。

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