榮堅五金-一種納米鍍膜設備旋轉貨架裝配

WaterOff

2022-08-08 13:46:50

擇要：	本發明一種納米鍍膜設備旋轉貨架裝配，屬于真空鍍膜技術領域。該裝配中，包括反應腔室，所述反應腔室內設置有旋轉貨架，所述旋轉貨架的中間軸為中空管結構，且中空管上設置有通孔，反應腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在統一軸線上且位于其上方，所述旋轉貨架底部圓盤上安裝內齒圈，旋轉電機軸上安裝齒輪，工件放置在旋轉貨架的置物層上。本發明裝配在鍍膜過程中貨架持續旋轉，避免出現因各區域化學單體氣體密度不均勻造成固定區域的工件涂層厚度不均勻征象；通過每層貨架對應中空管上的通孔，可以使進入腔室內的化學單體氣體形成沿每層貨架徑憧憬通孔位置擴散的趨勢，使得從腔壁到中空管區域化學單體密度更加均勻。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區玉祁鎮玉祁工業園東環路
發明(設計)人：	宗堅
主分類號：	C23C16/458(2006.01)I
分類號：	C23C16/458(2006.01)I C23C16/455(2006.01)I
法律狀況
2017/6/23	實質審查的生效 IPC(主分類):C23C 16/458申請日:20161130
2017/5/31	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權項	一種納米鍍膜設備旋轉貨架裝配，其特性在于：包括反應腔室(1)，所述反應腔室(1)內設置有旋轉貨架(2)，所述旋轉貨架(2)的中間軸為中空管結構，且中空管上設置有通孔，反應腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在統一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導向套，且導向套內徑比中空管外徑大，所述旋轉貨架(2)底部圓盤上安裝內齒圈，旋轉電機(6)軸上安裝齒輪，工件(8)放置在旋轉貨架(2)的置物層上，真空泵(3)通過真空管路與反應腔室(1)腔體抽氣口連接，進氣閥(4)通過進氣管路與反應腔室(1)腔體進氣口連接，加料閥(5)通過加料管路與反應腔室(1)腔體加料口連接，射頻電源(7)通過導線與反應腔室(1)腔體內電極連接。

公開號	106756888A

公開日	2017-05-31

專利代理機構	大連理工大學專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優先權

國際申請

國際宣布

進入國家日期