榮堅五金-一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝配

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2022-08-08 13:48:32

擇要：	本發明一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝配，屬于等離子體技術領域，用于在基材外觀制備聚合物涂層。該裝配中，真空室為管狀，真空室的內壁上安裝有電極和導軌，其中電極為柱面形，位于與真空室同軸的柱面上，電極分開為至少兩部分，留出的閑暇安裝導軌，電極與導軌不接觸；治具安裝在導軌上，與真空室同軸，待處理的基材裝在治具內，真空室的頂部沿軸向間隔設置載體氣體管路和單體蒸汽管路，真空室的底部沿軸向間隔設置真空排氣管路，真空室的兩端安裝真空室門，供治具送入和掏出。本發明的裝配的真空室的容積大，等離子體的均勻性優秀，處理批量大、服從高、成本低，批處理產品質量均勻性優秀。
申請人：	無錫榮堅五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區玉祁鎮玉祁工業園東環路
發明(設計)人：	宗堅
主分類號：	B05B5/08(2006.01)I
分類號：	B05B5/08(2006.01)I B05B15/12(2006.01)I
法律狀況	實質審查的生效 IPC(主分類):B05B 5/08申請日:20161130
2016/11/9	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權項	一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝配，其特性在于：真空室(1)為管狀，真空室(1)的內壁上安裝有電極(2)和導軌(3)，其中電極(2)為柱面形，位于與真空室(1)同軸的柱面上，電極(2)分開為至少兩部分，留出的閑暇安裝導軌(3)，電極(2)與導軌(3)不接觸；治具(4)安裝在導軌(3)上，與真空室(1)同軸，待處理的基材(5)裝在治具(4)內，真空室(1)的頂部沿軸向間隔設置載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)，真空室(1)的底部沿軸向間隔設置真空排氣管路(8)，真空室(1)的兩端安裝真空室門(9)。

公開號	106733264A

公開日	2017-05-31

專利代理機構	大連理工大學專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優先權	2016.08.30 CN 201610790675X

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