榮堅(jiān)五金- 一種等離子體聚合涂層裝配

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2022-08-08 13:48:59

擇要：	一種等離子體聚合涂層裝配，屬于等離子體工程技術(shù)領(lǐng)域，該裝配真空室側(cè)部的室體內(nèi)壁任一橫截面為雷同直徑的圓或雷同邊長的正多邊形，正多邊形邊數(shù)至少為6邊；真空室內(nèi)壁處安裝有多孔電極，多孔電極與高頻電源連接，真空室外壁上密封安裝有至少兩個(gè)放電腔，放電腔與真空室內(nèi)壁連接處設(shè)置有至少兩層金屬柵網(wǎng)，真空室內(nèi)的中間軸上豎直安裝有尾氣收集管，真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)置物架，所述旋轉(zhuǎn)置物架的旋轉(zhuǎn)軸與真空室的中間軸同軸，旋轉(zhuǎn)置物架上放置待處理基材。該裝配采用中間軸對稱真空室結(jié)構(gòu)保持空間聚合反應(yīng)活性物種濃度的穩(wěn)固性，具有真空室的容積大，單次處理批量大，處理服從高、成本低、批處理均勻性優(yōu)秀等好處。
申請人：	無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司
地址：	江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)玉祁工業(yè)園東環(huán)路
發(fā)明(設(shè)計(jì))人：	宗堅(jiān)
主分類號：	B05B15/12(2006.01)I
分類號：	B05B15/12(2006.01)I B05B5/053(2006.01)I B05B12/12(2006.01)I B05D1/00(2006.01)I B05D3/14(2006.01)I
法律狀況	實(shí)質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):B05B 15/12申請日:20161130
2016/11/9	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時(shí)正確的法律狀況信息須到國家知識產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。
其他信息
主權(quán)項(xiàng)	一種等離子體聚合涂層裝配，包括真空室，其特性在于：所述真空室(1)側(cè)部的室體內(nèi)壁任一橫截面為雷同直徑的圓或雷同邊長的正多邊形，所述正多邊形邊數(shù)至少為6邊；所述真空室(1)內(nèi)靠近真空室(1)的內(nèi)壁處安裝有多孔電極(2)，所述多孔電極(2)為與真空室內(nèi)壁保持間距的多孔弧面結(jié)構(gòu)，所述多孔電極與高頻電源(3)連接，所述真空室外壁上密封安裝有至少兩個(gè)放電腔(4)；所述放電腔與真空室內(nèi)壁連接處設(shè)置有至少兩層金屬柵網(wǎng)(5)，所述金屬柵網(wǎng)與真空室內(nèi)壁絕緣，金屬柵網(wǎng)與脈沖電源(6)連接，所述放電腔(4)內(nèi)設(shè)有放電源(7)，放電源連接供電源(8)，所述放電腔連接有載體氣體管路(9)，載體氣體管路另一端連接到載體氣體源，單體蒸汽管路(10)連接到真空室內(nèi)，且其出口位于放電腔(4)前方，單體蒸汽管路另一端連接到單體蒸汽源；所述真空室內(nèi)的中間軸上豎直安裝有尾氣收集管(11)，尾氣收集管一端伸出真空室后與真空泵連接，所述尾氣收集管的管壁上開孔；所述真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)置物架(12)，所述旋轉(zhuǎn)置物架的旋轉(zhuǎn)軸與真空室的中間軸同軸，旋轉(zhuǎn)置物架上放置待處理基材。

公開號	106622824A

公開日	2017-05-10

專利代理機(jī)構(gòu)	大連理工大學(xué)專利中間 21200

代理人	梅洪玉

頒證日

優(yōu)先權(quán)

國際申請

國際宣布

進(jìn)入國家日期