HZO-用于將材料引入材料處理體系的托架體系

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2022-08-08 13:54:07

擇要：本發(fā)明公開(kāi)了一種用于將材料引入材料處理體系的托架體系。在各個(gè)特性方面和實(shí)施例中，本公開(kāi)涉及用于容納并保持前驅(qū)物材料的托架體系。托架體系可以用于材料處理體系內(nèi)以用于在襯底上形成珍愛(ài)涂層。托架體系可以包括包含多個(gè)容座的托架。托架體系可以還包括多個(gè)杯體，配置每個(gè)杯體以可移除地位于托架的容座內(nèi)。
申請(qǐng)人： HZO股份有限公司
地址：美國(guó)猶他
發(fā)明(設(shè)計(jì))人： J·登普斯特 J·梅納德
主分類號(hào)： C23C14/26(2006.01)I
分類號(hào)： C23C14/26(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

擇要：本發(fā)明公開(kāi)了一種用于將材料引入材料處理體系的托架體系。在各個(gè)特性方面和實(shí)施例中，本公開(kāi)涉及用于容納并保持前驅(qū)物材料的托架體系。托架體系可以用于材料處理體系內(nèi)以用于在襯底上形成珍愛(ài)涂層。托架體系可以包括包含多個(gè)容座的托架。托架體系可以還包括多個(gè)杯體，配置每個(gè)杯體以可移除地位于托架的容座內(nèi)。

申請(qǐng)人： HZO股份有限公司

地址： 美國(guó)猶他

發(fā)明(設(shè)計(jì))人： J·登普斯特 J·梅納德

主分類號(hào)： C23C14/26(2006.01)I

分類號(hào)： C23C14/26(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律狀況

2015-09-30	實(shí)質(zhì)審查的生效IPC(主分類):C23C 14/26申請(qǐng)日:20150302

2015-09-02	公開(kāi)

注：本法律狀況信息僅供參考，即時(shí)正確的法律狀況信息須到國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權(quán)項(xiàng)	一種用于保持前驅(qū)物材料的托架體系，包括：托架，其包括多個(gè)區(qū)段，所述多個(gè)區(qū)段中的每個(gè)區(qū)段包括容座；以及多個(gè)杯體，其用于保持前驅(qū)物材料，其中所述多個(gè)杯體中的每一個(gè)杯體配置成位于所述托架的所述多個(gè)區(qū)段中的一區(qū)段的容座內(nèi)。

公開(kāi)號(hào)	104878349A

公開(kāi)日	2015-09-02

專利代理機(jī)構(gòu)	中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038

代理人	張濤

頒證日

優(yōu)先權(quán)	2014.03.01 US 61/946,709;2014.07.29 US 14/445,628

國(guó)際申請(qǐng)

國(guó)際宣布

進(jìn)入國(guó)家日期