HZO-用于將珍愛涂層選擇性地施加到電子部件的設備和體系及其相干方法

WaterOff

2022-08-08 13:54:42

擇要：用于將珍愛涂層施加到電子裝配組件或其它襯底的設備可以包括托盤，所述托盤能夠保持多個襯底。托盤可以在襯底上方選擇性地關閉。下托盤元件和/或上托盤元件可以在上面包括預成型的掩膜，所述掩膜與不應該將珍愛涂層材料粘附到襯底的位置相對應。掩膜可以包括結構部分和密封部分。結構部分可以保持襯底升高以維持開口或通道，珍愛涂層材料通過所述開口或通道可以施加到襯底的未遮蔽的部分。掩膜的密封部分可以接合襯底以限定珍愛涂層材料流到已遮蔽的部分。每個托盤都可以容納多個襯底。載體可以支持多個托盤。載體可以運載幾十個并且可能幾百個襯底以用于同時施加珍愛涂層。
申請人： HZO股份有限公司
地址：美國猶他
發明(設計)人： D·考克斯 M·索倫森 T·C·蔡爾德 V·K·卡薩加尼 C·L·盧斯
主分類號： C23C14/04(2006.01)I
分類號： C23C14/04(2006.01)I C23C16/04(2006.01)I B05B15/04(2006.01)I

擇要：用于將珍愛涂層施加到電子裝配組件或其它襯底的設備可以包括托盤，所述托盤能夠保持多個襯底。托盤可以在襯底上方選擇性地關閉。下托盤元件和/或上托盤元件可以在上面包括預成型的掩膜，所述掩膜與不應該將珍愛涂層材料粘附到襯底的位置相對應。掩膜可以包括結構部分和密封部分。結構部分可以保持襯底升高以維持開口或通道，珍愛涂層材料通過所述開口或通道可以施加到襯底的未遮蔽的部分。掩膜的密封部分可以接合襯底以限定珍愛涂層材料流到已遮蔽的部分。每個托盤都可以容納多個襯底。載體可以支持多個托盤。載體可以運載幾十個并且可能幾百個襯底以用于同時施加珍愛涂層。

申請人： HZO股份有限公司

地址： 美國猶他

發明(設計)人： D·考克斯 M·索倫森 T·C·蔡爾德 V·K·卡薩加尼 C·L·盧斯

主分類號： C23C14/04(2006.01)I

分類號： C23C14/04(2006.01)I C23C16/04(2006.01)I B05B15/04(2006.01)I

法律狀況

2016-02-24	實質審查的生效IPC(主分類):C23C 14/04申請日:20140108

2015-10-21	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種用于將珍愛涂層施加到多個襯底的托盤，所述托盤包括：封殼，所述封殼包括匹配的第一容納元件和第二容納元件以及在所述第一容納元件與所述第二容納元件之間的內部；至少一個掩膜，所述至少一個掩膜連接到所述封殼，所述至少一個掩膜用于基本抵靠密封定位在所述第一容納元件與所述第二容納元件之間的所述封殼的內部中和所述內部內的襯底的部分；固定元件，所述固定元件用于將所述封殼選擇性地固定在關閉位置中；和一個或多個開口，所述珍愛涂層材料能夠通過所述一個或多個開口進入所述封殼并且被施加到所述襯底。

公開號	104995328A

公開日	2015-10-21

專利代理機構	中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038

代理人	朱海濤

頒證日

優先權	2013.01.08 US 61/750,342

國際申請	2014-01-08 PCT/US2014/010739

國際宣布	2014-07-17 WO2014/110175 EN

進入國家日期	2015.08.14