佛山思博睿科技-基于低壓等離子化學氣相沉積制備納米多層膜的裝配

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2022-08-08 13:59:46

擇要：本實用新型提供了一種基于低壓等離子化學氣相沉積制備納米多層膜的裝配，包括：用于放置基體工件的真空的反應腔；向所述反應腔內持續供應氧氣的氧氣輸送體系；向所述反應腔內交替地供應第一氣體和第二氣體的氣體輸送體系；產生微波并向所述反應腔內提供所述微波的微波發生體系；設置于所述反應腔與所述微波發生體系之間以在所述反應腔內產生等離子場從而電離所述反應腔內的各種氣體以使各氣體不同分子之間進行化學反應而生成納米級膜層的微波電子回旋共振體系。本實用新型的裝配可正確控制每層厚度、以及均勻度，增長膜層與基體粘合力。
申請人：佛山市思博睿科技有限公司
地址： 528226 廣東省佛山市南海區獅山鎮羅村朗沙廣東新光源產業基地核心園區內C區7座第五層(1-6軸)廠房
發明(設計)人：梁磊
主分類號： C23C16/02(2006.01)I
分類號： C23C16/02(2006.01)I C23C16/50(2006.01)I B82Y40/00(2011.01)I

擇要：本實用新型提供了一種基于低壓等離子化學氣相沉積制備納米多層膜的裝配，包括：用于放置基體工件的真空的反應腔；向所述反應腔內持續供應氧氣的氧氣輸送體系；向所述反應腔內交替地供應第一氣體和第二氣體的氣體輸送體系；產生微波并向所述反應腔內提供所述微波的微波發生體系；設置于所述反應腔與所述微波發生體系之間以在所述反應腔內產生等離子場從而電離所述反應腔內的各種氣體以使各氣體不同分子之間進行化學反應而生成納米級膜層的微波電子回旋共振體系。本實用新型的裝配可正確控制每層厚度、以及均勻度，增長膜層與基體粘合力。

申請人： 佛山市思博睿科技有限公司

地址： 528226 廣東省佛山市南海區獅山鎮羅村朗沙廣東新光源產業基地核心園區內C區7座第五層(1-6軸)廠房

發明(設計)人： 梁磊

主分類號： C23C16/02(2006.01)I

分類號： C23C16/02(2006.01)I C23C16/50(2006.01)I B82Y40/00(2011.01)I