佛山思博?？萍家环N多路氣體切換供氣而總供氣量恒定的真空反應體系

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2022-08-08 14:00:04

擇要：本發明公開一種無論多路氣路如何切換，都可以保證流量器流出氣量穩固的真空反應體系，包括有多條主氣路和真空反應腔，每條主氣路與真空反應腔連接，在主氣路上沿供氣方向依次設有流量器和主路隔膜閥，真空反應腔的出口管路上設有真空規、真空蝶閥和真空泵，在每條主氣路上流量器和主路隔膜閥之間引出一條旁路，旁路接駁在真空反應腔和真空規之間的出口管道上，每條旁路都設有旁路隔膜閥，主路隔膜閥、旁路隔膜閥和真空蝶閥受PLC控制器控制開關。
申請人：佛山市思博?？萍加邢薰?/span>
地址： 528226 廣東省佛山市南海區獅山鎮羅村朗沙廣東新光源產業基地核心園區內C區7座第五層(1-6軸)廠房
發明(設計)人：梁磊
主分類號： B01J3/04(2006.01)I
分類號： B01J3/04(2006.01)I B01J3/02(2006.01)I B01J3/00(2006.01)I

擇要：本發明公開一種無論多路氣路如何切換，都可以保證流量器流出氣量穩固的真空反應體系，包括有多條主氣路和真空反應腔，每條主氣路與真空反應腔連接，在主氣路上沿供氣方向依次設有流量器和主路隔膜閥，真空反應腔的出口管路上設有真空規、真空蝶閥和真空泵，在每條主氣路上流量器和主路隔膜閥之間引出一條旁路，旁路接駁在真空反應腔和真空規之間的出口管道上，每條旁路都設有旁路隔膜閥，主路隔膜閥、旁路隔膜閥和真空蝶閥受PLC控制器控制開關。

申請人： 佛山市思博?？萍加邢薰?/span>

地址： 528226 廣東省佛山市南海區獅山鎮羅村朗沙廣東新光源產業基地核心園區內C區7座第五層(1-6軸)廠房

發明(設計)人： 梁磊

主分類號： B01J3/04(2006.01)I

分類號： B01J3/04(2006.01)I B01J3/02(2006.01)I B01J3/00(2006.01)I