昆山彰盛奈米-線纜表面涂層連續鍍膜裝置及方法

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2022-08-08 14:03:59

摘要：本發明公開了一種線纜表面涂層連續鍍膜裝置及方法，該鍍膜裝置包括真空室、預抽室、卷放裝置和卷收裝置，預抽室包括分別設置在真空室上、下游的上、下游預抽室，在與卷放裝置相鄰的上游預抽室的前端設有線纜入口，在與卷收裝置相鄰的下游預抽室的后端設有線纜出口；鍍膜裝置工作時，待涂覆的線纜由卷放裝置釋放出并通過線纜入口和擋板上的開口進入預抽室和真空室，線纜在真空室內時，涂層材料在線纜表面聚合而形成涂層，已形成有鍍膜的線纜通過開口和線纜出口離開真空室和預抽室，并被卷收裝置接納。本發明使得Parylene材料涂覆由間歇式單爐沉積改為連續式沉積，大大提高了鍍膜效率。
申請人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮楊家路9號
發明(設計)人：徐志淮
主分類號： C23C14/56(2006.01)I
分類號： C23C14/56(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

摘要：本發明公開了一種線纜表面涂層連續鍍膜裝置及方法，該鍍膜裝置包括真空室、預抽室、卷放裝置和卷收裝置，預抽室包括分別設置在真空室上、下游的上、下游預抽室，在與卷放裝置相鄰的上游預抽室的前端設有線纜入口，在與卷收裝置相鄰的下游預抽室的后端設有線纜出口；鍍膜裝置工作時，待涂覆的線纜由卷放裝置釋放出并通過線纜入口和擋板上的開口進入預抽室和真空室，線纜在真空室內時，涂層材料在線纜表面聚合而形成涂層，已形成有鍍膜的線纜通過開口和線纜出口離開真空室和預抽室，并被卷收裝置接納。本發明使得Parylene材料涂覆由間歇式單爐沉積改為連續式沉積，大大提高了鍍膜效率。

申請人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮楊家路9號

發明(設計)人： 徐志淮

主分類號： C23C14/56(2006.01)I

分類號： C23C14/56(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I

法律狀態

2017-08-25	授權

2015-01-07	實質審查的生效IPC(主分類):C23C 14/56申請日:20140925

2014-12-17	公開

注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種線纜表面涂層連續鍍膜裝置，其特征在于，所述線纜表面涂層連續鍍膜裝置包括：?真空室，所述真空室設有用于接收涂層材料的原料入口，且所述真空室設有與真空泵相連的抽氣口；?預抽室，所述預抽室包括設置在真空室上游的上游預抽室和設置在真空室下游的下游預抽室，所述上游預抽室和下游預抽室可分別包括一級或多級預抽室，所述預抽室均設有與真空泵相連的預抽口，相鄰的真空室和預抽室之間以及相鄰的兩個預抽室之間設有擋板且所述擋板上設有供線纜通過的開口；和卷放裝置和卷收裝置，所述卷放裝置設置在所述上游預抽室的上游，所述卷收裝置設置在所述下游預抽室的下游，在與所述卷放裝置相鄰的上游預抽室的前端設有線纜入口，在與所述卷收裝置相鄰的下游預抽室的后端設有線纜出口；其中，?所述鍍膜裝置工作時，待涂覆的線纜由所述卷放裝置釋放出并通過所述線纜入口和所述擋板上的開口進入所述預抽室和所述真空室，所述線纜在所述真空室內時，所述涂層材料在所述線纜表面聚合而形成涂層，已形成有鍍膜的線纜通過所述開口和所述線纜出口離開所述真空室和預抽室，并被所述卷收裝置接納。?

公開號	104213095A

公開日	2014-12-17

專利代理機構	上海一平知識產權代理有限公司 31266

代理人	蔡繼清崔佳佳

頒證日

優先權

國際申請

國際公布

進入國家日期