昆山彰盛奈米-真空度測量裝置

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2022-08-08 14:05:03

摘要：本實用新型公開了一種真空度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空沉積系統(tǒng)的真空沉積腔室的真空度。該真空度測量裝置包括加熱圈、導熱件、真空規(guī)管、以及熱電偶。導熱件環(huán)繞真空規(guī)管設置，加熱圈設置在導熱件外部，熱電偶與真空規(guī)管熱連通，且真空規(guī)管與真空沉積腔室流體連通。采用本實用新型能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的在測量真空腔室的真空度時反應中的分子沉積到電阻絲表面的問題。
申請人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)楊家路9號
發(fā)明(設計)人：徐志淮
主分類號： G01L21/14(2006.01)I
分類號： G01L21/14(2006.01)I

摘要：本實用新型公開了一種真空度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空沉積系統(tǒng)的真空沉積腔室的真空度。該真空度測量裝置包括加熱圈、導熱件、真空規(guī)管、以及熱電偶。導熱件環(huán)繞真空規(guī)管設置，加熱圈設置在導熱件外部，熱電偶與真空規(guī)管熱連通，且真空規(guī)管與真空沉積腔室流體連通。采用本實用新型能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的在測量真空腔室的真空度時反應中的分子沉積到電阻絲表面的問題。

申請人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)楊家路9號

發(fā)明(設計)人： 徐志淮

主分類號： G01L21/14(2006.01)I

分類號： G01L21/14(2006.01)I

法律狀態(tài)

2015-03-11	授權(quán)

注：本法律狀態(tài)信息僅供參考，即時準確的法律狀態(tài)信息須到國家知識產(chǎn)權(quán)局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權(quán)項	一種真空度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空沉積系統(tǒng)的真空沉積腔室的真空度，其特征在于：所述真空度測量裝置包括加熱圈、導熱件、真空規(guī)管、以及熱電偶，所述導熱件環(huán)繞所述真空規(guī)管設置，所述加熱圈設置在所述導熱件外部，所述熱電偶與所述真空規(guī)管熱連通，且所述真空規(guī)管與所述真空沉積腔室流體連通。

公開號	204202809U

公開日	2015-03-11

專利代理機構(gòu)	上海一平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31266

代理人	蔡繼清崔佳佳

頒證日

優(yōu)先權(quán)

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國際公布

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