防水專利
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昆山彰盛奈米-溫度測量裝置
WaterOff
2022-08-08 14:05:40
| 摘要：本實用新型公開了一種溫度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空臥式沉積系統蒸發室的溫度。該溫度測量裝置包括殼體、熱電偶以及接地結構。該殼體設有中心通孔，熱電偶固定容納于該殼體的中心通孔內并且與蒸發室的外表面接觸。殼體的一端設有圓弧面，該圓弧面的弧度與蒸發室外表面的弧度相同，且接地結構的一端與熱電偶電連接，另一端接地。采用本實用新型能解決聚對二甲苯真空臥式沉積系統蒸發室的溫度測量結果不穩定，易受環境因素影響的問題。 | |
| 申請人： 昆山彰盛奈米科技有限公司 | |
| 地址： 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮楊家路9號 | |
| 發明(設計)人： 徐志淮 | |
| 主分類號： C23C14/54(2006.01)I | |
| 分類號： C23C14/54(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I C23C16/52(2006.01)IG01K7/06(2006.01)I | |
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法律狀態
| 2015-04-15 | 授權 |
注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。
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其他信息
| 主權項 | 一種溫度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空臥式沉積系統蒸發室的溫度，其特征在于：所述溫度測量裝置包括殼體、熱電偶以及接地結構，所述殼體設有中心通孔，所述熱電偶固定容納于所述殼體的中心通孔內并且與所述蒸發室的外表面接觸，所述殼體的一端設有圓弧面，所述圓弧面的弧度與所述蒸發室外表面的弧度相同，且所述接地結構的一端與所述熱電偶電連接，另一端接地。 |
| 公開號 | 204265843U |
| 公開日 | 2015-04-15 |
| 專利代理機構 | 上海一平知識產權代理有限公司 31266 |
| 代理人 | 蔡繼清 崔佳佳 |
| 頒證日 | |
| 優先權 | |
| 國際申請 | |
| 國際公布 | |
| 進入國家日期 | |
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