昆山彰盛奈米-聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構

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2022-08-08 14:06:39

摘要：本實用新型公開了一種聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構，包括主機、底座、滾桶和真空腔室，在真空腔室內設置有滾桶，其特征在于：在主機旁設置有底座，在底座的上方設置有真空腔室，在真空腔室的側壁上設置有腔室法蘭，所述真空腔室安裝有腔室法蘭的一側側壁與主機側壁相連接，所述主機內的輸送管穿過主機側壁并通過管口法蘭與真空腔室側壁配合固定，且輸送管伸入到滾桶內。本實用新型解決了現有技術中聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構，主機和真空腔室連接后密封性能較差，安裝不方便的問題，提供了一種結構簡單，主機和真空腔室平行度較好，真空腔室密封性能較好的聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構。
申請人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江蘇省昆山市金陽東路8號
發明(設計)人：徐志淮
主分類號： C23C16/00(2006.01)I
分類號： C23C16/00(2006.01)I C23C16/44(2006.01)I

摘要：本實用新型公開了一種聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構，包括主機、底座、滾桶和真空腔室，在真空腔室內設置有滾桶，其特征在于：在主機旁設置有底座，在底座的上方設置有真空腔室，在真空腔室的側壁上設置有腔室法蘭，所述真空腔室安裝有腔室法蘭的一側側壁與主機側壁相連接，所述主機內的輸送管穿過主機側壁并通過管口法蘭與真空腔室側壁配合固定，且輸送管伸入到滾桶內。本實用新型解決了現有技術中聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構，主機和真空腔室連接后密封性能較差，安裝不方便的問題，提供了一種結構簡單，主機和真空腔室平行度較好，真空腔室密封性能較好的聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構。

申請人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江蘇省昆山市金陽東路8號

發明(設計)人： 徐志淮

主分類號： C23C16/00(2006.01)I

分類號： C23C16/00(2006.01)I C23C16/44(2006.01)I

法律狀態

2012-11-21	授權

注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種聚對二甲苯真空臥式沉積系統新聯結結構，包括主機、底座、滾桶和真空腔室，在真空腔室內設置有滾桶，其特征在于：在主機旁設置有底座，在底座的上方設置有真空腔室，在真空腔室的一側墻板直接固定在主機側壁上；所述真空腔室通過腔室法蘭與主機側壁上的墻板相連接。

公開號	202543315U

公開日	2012-11-21

專利代理機構

代理人

頒證日

優先權

國際申請

國際公布

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