昆山彰盛奈米-聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構

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2022-08-08 14:06:21

摘要：本實用新型公開了一種聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構，其特征在于：所述沉積裝置由沉積滾筒、沉積架、沉積籠三部分組成，沉積籠固定于沉積架后置于沉積滾筒內。其中沉積架為圓柱形框架，在圓柱形沉積架上下底面之間均勻設置有至少四個沉積籠，安裝時平行于圓柱形沉積架高度方向。本實用新型解決了現有技術中沉積裝置沉積效率低，電機設備容易損壞，產品厚度均勻性不一致，產品成膜品質較差和產量偏低的問題。提供了一種結構簡單，使用方便，可大大提高滾筒內產品沉積效率，有效地保護電機設備，同時增加空間利用率從而提高產量，并解決了產品厚度均勻性不一致，產品成膜品質較差等問題的聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構。
申請人：昆山彰盛奈米科技有限公司
地址： 215331 江蘇省昆山市金陽東路8號
發明(設計)人：徐志淮
主分類號： C23C16/448(2006.01)I
分類號： C23C16/448(2006.01)I

摘要：本實用新型公開了一種聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構，其特征在于：所述沉積裝置由沉積滾筒、沉積架、沉積籠三部分組成，沉積籠固定于沉積架后置于沉積滾筒內。其中沉積架為圓柱形框架，在圓柱形沉積架上下底面之間均勻設置有至少四個沉積籠，安裝時平行于圓柱形沉積架高度方向。本實用新型解決了現有技術中沉積裝置沉積效率低，電機設備容易損壞，產品厚度均勻性不一致，產品成膜品質較差和產量偏低的問題。提供了一種結構簡單，使用方便，可大大提高滾筒內產品沉積效率，有效地保護電機設備，同時增加空間利用率從而提高產量，并解決了產品厚度均勻性不一致，產品成膜品質較差等問題的聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構。

申請人： 昆山彰盛奈米科技有限公司

地址： 215331 江蘇省昆山市金陽東路8號

發明(設計)人： 徐志淮

主分類號： C23C16/448(2006.01)I

分類號： C23C16/448(2006.01)I

法律狀態

2012-07-25	授權

注：本法律狀態信息僅供參考，即時準確的法律狀態信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種聚對二甲苯臥式沉積系統新工裝結構，包括沉積架和沉積滾筒，其特征在于：所述沉積架為圓柱形框架，在圓柱形沉積架上下底面之間橫向均勻設置有至少四個沉積籠，所述沉積籠由若干個沖孔網板依次拼接組成，沉積架置于沉積滾筒內。

公開號	202347095U

公開日	2012-07-25

專利代理機構

代理人

頒證日

優先權

國際申請

國際公布

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