一、概述

　　目前低溫等離子體（溫度為2000～50000K）已得到廣泛應用，工業上已成為一種重要的工藝手段，例如用等離子弧進行切割、焊接、噴涂；制造各種新穎的光源和顯示器；熱電直接轉換的磁流體發電等。在化工部門，等離子體化學已成為一個十分活躍的新領域。在微電子工業，等離子體刻蝕和氣相沉積應用得十分廣泛。以上情況表明，低溫等離子體已逐漸滲透到很多領域，展示了廣闊的前景。

　　二、用微波激發等離子體有如下優點

　　1.有較高的電離和分解程度

　　2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度。這個特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高。

　　3.能在高氣壓下維持等離子體。

　　4.沒有內部電極，在等離子容器內，沒有工作氣體以外的任何物質，是潔凈的，無污染源。等離子發生器可以保持長壽命。

　　5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內，微波結和磁路可以兼容。

　　6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波泄漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的。

　　7.微波發生器是穩定的，易控的。

　　8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。

　　三、微波激發等離子體的多種形式

　　1.微波傳輸線和諧振腔。

　　2.慢波結構邊緣場。

　　3.近場微波天線。

　　4.同軸基表面波激發等離子體柱和波導基表面波激發等離子體柱。

　　5.利用電子回旋共振激發等離子體。