等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

　　（1）電場＋電子→高能電子

　　（2）高能電子＋分子（或原子）→（受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)）活性基團(tuán)

　　（3）活性基團(tuán)＋分子（原子）→生成物+熱

　　（4）活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱

　　從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)。

　　之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。

　　另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。

　　這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。