圖為一種具有聚對二甲苯柵極絕緣體的頂級半導體納米線晶體管的彩色SEM圖像。納米線顯示為藍色，聚對二甲苯層顯示為綠色，金屬電極顯示為黃色。

來自新南威爾士大學和隆德大學的一個研究小組首次展示了有機聚合物聚對二甲苯作為超薄光刻圖案化柵極絕緣體用于納米級晶體管。在納米尺度上，利用標準光刻技術沉積薄膜和光刻圖案化能力可以為其在納米級器件和納米生物電子應用領域中開辟更寬廣的道路。

盡管超薄聚對二甲苯由于針孔問題而被認為是不合適的，但這項研究，正如納米快報中Gluschke等人所報道的，納米尺度器件的微小界面區域可以克服這些問題。聚對二甲苯具有生物相容性，并獲得FDA批準用于人體植入設備，已被用作氧化物的替代品，以解決有機半導體器件中的類似問題。它在醫療植入物包覆也是常見的，并且作為用于印刷電路板和其他工業電子設備的環境保護涂層，盡管通常在較大的器件結構中具有更厚的膜。

研究人員使用一種特定的聚對二甲苯沉積系統將20nm厚的保形涂層涂覆在50nm直徑的納米線上，這種納米線被用作場效應晶體管的傳導通道。制造這種裝置的效率取決于聚對二甲苯直接從氣相沉積的能力及其高抗溶劑性。結果表明，在不破壞表面化學性質的情況下，可以在化學處理的半導體表面上對聚對二甲苯沉積進行處理，而耐溶劑性意味著聚對二甲苯適合于基于抗蝕劑的光刻。

其主要特點是一個小型沉積室，利用石英晶體微微量天秤對沉積進行原位監測，并能隔離和抽空沉積室，以迅速終止沉積過程。這使得器件的制造像圖中所示的頂柵晶體管一樣簡單，同時與本文討論的柵極全晶體管一樣復雜。重要的是，材料和制造工藝應該可以轉移到其他半導體材料上，比如石墨烯和一系列其他納米級器件的設計。正如團隊領導者Adam Micolich告訴Materials Today那樣，“這里的主要意義在于，現在有一種非常可行的非氧化物有機絕緣體可以用于納米級器件。”

該團隊對納米線包裹的研究始于2012年，它已經發展成具有多個包裹并通過離子方法包裹控制結構，并且他們繼續研究在其他結構和材料中使用超薄聚對二甲苯。