王亞軍, 劉景全, 楊春生, 沈修成, 郭忠元

(上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院微米/納米加工技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 上海　200030)

摘要: 介紹了聚合物Parylene, 包括其制備工藝和Parylene薄膜的圖形化。著重介紹了Parylene在微流體系統(tǒng)的應(yīng)用, 包括微閥、微泵和微通道; 在可植入微系統(tǒng)中的應(yīng)用, 包括人工耳蝸和視網(wǎng)膜假體。近來的研究表明, 基于Parylene的MEMS微器件廣泛應(yīng)用在各種MEMS微結(jié)構(gòu)、微傳感器和微驅(qū)動(dòng)器上, Parylene在各種完全集成微系統(tǒng)應(yīng)用中將具有更加誘人的前景。

關(guān)鍵詞: 聚對(duì)二甲苯; 微閥; 微泵; 微通道; 人工耳蝸; 視網(wǎng)膜假體; 微機(jī)電系統(tǒng)

中圖分類號(hào): TM211; TH703　文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A　文章編號(hào): 1671- 4776 (2008) 07- 0403- 08

　引　言

近年來, 聚合物作為結(jié)構(gòu)材料或是犧牲層材料, 廣泛應(yīng)用在MEMS微傳感器和微執(zhí)行器上。相比于硅、多晶硅等傳統(tǒng)的MEMS材料, 聚合物不僅具有柔韌的特性, 而且有較好的機(jī)械特性、低成本、易制作等優(yōu)點(diǎn)。常用到的聚合物材料有PDMS、SU28、PMMA、Parylene、Polyimide 等, 其中, Parylene以其優(yōu)良的電性能已經(jīng)廣泛應(yīng)用在微電子產(chǎn)業(yè)和醫(yī)療產(chǎn)業(yè)中。Parylene是在室溫下沉積而成, 透明且具有良好的機(jī)械強(qiáng)度, 材料無應(yīng)力,與集成電路制造工藝相兼容, 同時(shí)具有很好的生物相容性。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,Parylene以其特有的優(yōu)點(diǎn)越來越受到MEMS領(lǐng)域的青睞, 應(yīng)用到從微結(jié)構(gòu)到集成微流體系統(tǒng)中。同

時(shí), B ioMEMS的發(fā)展要求使用生物相容性的材料,這更促進(jìn)了Parylene在可植入微系統(tǒng)等Bio2MEMS上的應(yīng)用。

本文就Parylene在MEMS方面的應(yīng)用對(duì)近幾年的成果作一簡(jiǎn)要的總結(jié), 介紹了Parylene 薄膜材料, 包括制備工藝和圖形化方法。著重介紹了Parylene在MEMS的應(yīng)用, 主要包括微閥、微泵和微通道等微流體系統(tǒng)以及人工耳蝸、視網(wǎng)膜假體等可植入微系統(tǒng)。

1　Parylene介紹

Parylene是一種對(duì)二甲苯的聚合物, 最早由MichaelMojzesz Swarc在1947年發(fā)現(xiàn), 1965年Wil2liam F Gorham發(fā)展了一種可行的聚合物沉積系統(tǒng)之后, 由美國Union Carbide公司商業(yè)化的一種新的敷形涂層材料[ 1 ] 。Parylene薄膜是一種無支鏈、高結(jié)晶、分子量超過50 萬的聚合物。根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同, Parylene可分為N、C、D、HT型等多種類型, 主要區(qū)別在于分子上取代基不同, 分子式的不同也決定了其熱穩(wěn)定性能和絕緣性能等有所不同, 圖1為Parylene的三種常用類型的分子式。其中, C型聚對(duì)二甲苯( Parylene C) 薄膜涂層是目前使用最廣泛的一種。Parylene 薄膜具有防潮、絕緣、耐腐蝕、生物相容性、無針孔涂層、良好的機(jī)械性能和熱穩(wěn)定性, 廣泛應(yīng)用在航空、航天、軍工、微電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療、文物保護(hù)等領(lǐng)域, 表1為三種常用Parylene類型的主要特征。

Parylene 的制備采用化學(xué)氣相沉積工藝(CVD) , 其原料是對(duì)二甲苯環(huán)二聚體(不同類型的Parylene對(duì)應(yīng)不同取代基的對(duì)二甲苯環(huán)二聚體原料) 。制備的沉積過程大體可分為三步: 首先在真空, 150 ℃下將固態(tài)原料升華成氣態(tài); 二聚體氣體進(jìn)入裂解腔, 在650 ℃下, 二聚體的分子鍵被斷開, 裂解成具有反應(yīng)活性的單體; 最后在室溫的真空沉積室里, Parylene氣態(tài)單體在器件的表面上沉積并聚合。圖2 是氣相沉積制備Parylene N的流程圖, 其他類型的Parylene制備過程類似。

表1　Parylene N, Parylene C和Parylene D的特性

Table 1 The properties of Parylene N, Parylene C and Parylene D

圖2　氣相沉積制備Parylene流程圖

Fig. 2　Schematic of vapor deposition of Parylene

在沉積過程中, 氣態(tài)單體進(jìn)入沉積腔室, 首先擴(kuò)散至沉積表面附近, 吸附到各個(gè)表面后, 開始聚合和結(jié)晶, 直接形成固體, 避免了液相的出現(xiàn), 消除了涂層厚度不均勻和其中的缺陷。通過沉積能夠滲透和涂覆非常復(fù)雜的幾何圖形的物體, 包括尖銳的棱邊、裂縫里和內(nèi)表面, 實(shí)現(xiàn)均勻的涂層。Parylene薄膜能在室溫下涂覆, 具有較低的熱應(yīng)力, 整個(gè)操作過程簡(jiǎn)單, 沉積厚度由其應(yīng)用所決定, 范圍從幾十個(gè)納米到數(shù)十微米。

Parylene在MEMS領(lǐng)域的應(yīng)用, 大多作為結(jié)構(gòu)材料來使用。對(duì)于Parylene的圖形化, 為了與標(biāo)準(zhǔn)的表面微加工和體微加工技術(shù)兼容, 一般都采用干法刻蝕。像大多數(shù)聚合物一樣, Parylene采用氧等離子體刻蝕。等離子體刻蝕Parylene[ 2 ] 、反應(yīng)離子束刻蝕( R IBE ) Parylene[ 3 ] 、反應(yīng)離子刻蝕(R IE) Parylene[ 4 ] 、深度反應(yīng)離子刻蝕(DR IE)Parylene[ 5 ]都曾有過報(bào)道。J. T. C. Yeh等人[ 4 ]報(bào)道了在Parylene和標(biāo)準(zhǔn)光刻膠之間反應(yīng)離子刻蝕的選擇比接近于1。B. Ratier等人[ 3 ]采用反應(yīng)離子束刻蝕Parylene, 能夠得到較好的表面形貌, 但是其刻蝕速率非常低(約1. 5 ～5. 5 nm /min ) 。S. Sel2varasah 等人[ 6 ] 采用低溫( 5 ℃ ) DR IE 刻蝕Parylene C, 最大刻蝕速率達(dá)到1. 7 μm /min, 深寬比達(dá)到8∶1。J. D. Zahn等人[ 7 ]報(bào)道了用氧作為刻蝕氣體、C4 F8 作為鈍化氣體刻蝕PMMA可達(dá)到深寬比為20∶1。基于這些結(jié)果, 可以利用相同的方法即采用氧氣和鈍化氣體等離子體刻蝕Parylene,從而獲得具有很好形貌的Parylene高深寬比結(jié)構(gòu)。

2　Parylene在MEMS的應(yīng)用

Parylene在MEMS領(lǐng)域的應(yīng)用在90 年代后期得到了快速的發(fā)展, Parylene由于其特有的優(yōu)點(diǎn),在微器件的制作中作為結(jié)構(gòu)材料使用, 如基于Parylene的加速度計(jì)[ 8 - 9 ]和眼內(nèi)壓力傳感器[ 10 ]等,也有報(bào)道將Parylene 處理后作為犧牲層使用[ 11 ] 。下面, 主要對(duì)Parylene作為結(jié)構(gòu)材料在微流體系統(tǒng)和可植入系統(tǒng)兩方面的應(yīng)用作一介紹。

2. 1　微流體系統(tǒng)

微流體系統(tǒng)是MEMS的一個(gè)重要部分, 近年來隨著生命科學(xué)的發(fā)展, 進(jìn)一步促進(jìn)了微流體系統(tǒng)的快速發(fā)展, 通過微加工工藝制作的微流體器件,廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域, 如微量配給、微量注射、微分析系統(tǒng)、芯片實(shí)驗(yàn)室等。Parylene由于其較低的楊氏模量和液/氣滲透率、無應(yīng)力均勻覆蓋性和化學(xué)惰性, 廣泛應(yīng)用在微流體器件中, 如Parylene 微閥[ 12 - 13 ] 、質(zhì)譜分析的Parylene 微噴嘴[ 14 ] 、自適應(yīng)流程控制的Parylene 撲翼[ 15 ] 、Parylene電泳微通道[ 16 ] 、Parylene氣相色譜柱[ 17 ] 、Parylene微泵[ 18 ]等。下面主要對(duì)基于Parylene的微閥、微泵、微通道器件在近年來的發(fā)展作一介紹。

2. 1. 1　微閥

閥門是實(shí)現(xiàn)流體控制的基本元件, 傳統(tǒng)的微型閥可以分為被動(dòng)閥和主動(dòng)閥兩種。X. Yang等人[ 19 ]制成了采用熱驅(qū)動(dòng)的微閥, 基本結(jié)構(gòu)如圖3。它由4個(gè)部分組成: 閥座、硅樹脂橡膠/Parylene薄膜、加熱芯片和后背板。閥座的設(shè)計(jì)能夠防止微粒引起的泄漏, 工作液體為Fluori2nertTM PF25060。微閥在進(jìn)口壓力為165 kPa時(shí), 61mW的功率能夠產(chǎn)生N2 1. 1 L /min的流速。在進(jìn)口壓力為483 kPa時(shí), 微閥沒有任何的損壞。在輸入功率為100 mW時(shí), 膜產(chǎn)生了大于120μm的偏轉(zhuǎn)。由硅樹脂橡膠和Parylene薄膜組成的復(fù)合物膜, 有效地防止了蒸氣的泄漏, 同時(shí)保證了薄膜具有較大的沖程。

圖3　熱驅(qū)動(dòng)微閥的橫截面圖

Fig. 3　Cross2section of the thermopneumatic microvalve

由加州理工Y. C. Tai等人[ 20 - 21 ]研制了兩種基于Parylene 薄膜的高性能止回閥。第一種為Parylene扭曲膜微型止回閥(圖4 ) 。微閥具有扭曲型的Parylene膜, 當(dāng)有流體順流時(shí), Parylene薄膜抬起, 允許流體通過; 當(dāng)有流體逆流時(shí),Parylene薄膜封住了通道阻止其流動(dòng)。該結(jié)構(gòu)的微閥順流沖破壓力小于0. 5 kPa, 逆流的制止壓力達(dá)600 kPa以上, 同時(shí)具有較低的反向泄漏, 性能非常好。由于Parylene較小的楊氏模量, 產(chǎn)生了較大的變形, 基本可以忽略由薄膜引起的流體阻抗。

圖4　新型Parylene扭曲膜微型止回閥原理圖

Fig. 4　Schematics of a twist2up Parylene membrane micro check valve

第二種為單通道常閉微止回閥(圖5 ) , 整個(gè)微閥和微通道都是由Parylene C制成的, 其結(jié)構(gòu)為在圓形閥座上的一個(gè)圓形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的頂部中心, 由于大氣壓強(qiáng)使子腔壓縮到底部, 從而獲得微閥的閉合模式。這種新型的子腔結(jié)構(gòu)是通過犧牲層結(jié)構(gòu)的釋放和在真空條件下Parylene薄膜的氣相沉積來實(shí)現(xiàn)的。通過減小密封板和閥座的重疊面積和濺射金屬金來減小靜摩擦力, 從而減小順流沖破壓力。據(jù)報(bào)道, 此種結(jié)構(gòu)的微閥的順流沖破壓力為20～40 kPa, 在逆流壓力為270 kPa也不會(huì)出現(xiàn)可見的泄露現(xiàn)象。

圖5　單通道常閉微止回閥示意圖

Fig. 5　Schematic of normally closed in2channel,Parylene check valve

K. S. Ryu等人[ 22 ]發(fā)展了一種能用熱氣驅(qū)動(dòng)和靜電驅(qū)動(dòng)的微閥, 微閥薄膜采用Parylene制成, 相對(duì)于只有靜電驅(qū)動(dòng)的微閥, 驅(qū)動(dòng)電壓從幅值180 V降為45 V, 通過增加電壓和減小電極之間的間距可以有效地減小反向泄漏。圖6為制作的微閥結(jié)構(gòu)圖。

圖6　熱氣和靜電驅(qū)動(dòng)微閥結(jié)構(gòu)圖

Fig. 6　Schematic of the microvalve with thermopneumaticand electrostatic actuation

2. 1. 2　微泵

微型泵是微流動(dòng)系統(tǒng)的一個(gè)重要執(zhí)行器件。根據(jù)其有無可動(dòng)閥片, 微型泵可分為有閥微型泵和無閥微型泵。

G. H. Feng等人[ 23 ]制作了一種單向閥型壓電驅(qū)動(dòng)微泵, 通過石蠟成型技術(shù)將隔膜設(shè)計(jì)為拱形, 同時(shí)微閥和隔膜由聚合物Parylene制成, 保證了隔膜較大的形變以產(chǎn)生較大的泵送效率, 其結(jié)構(gòu)如圖7。微泵采用壓電ZnO薄膜來驅(qū)動(dòng)Parylene拱形隔膜, 以此驅(qū)動(dòng)兩個(gè)Parylene微止回閥來實(shí)現(xiàn)泵送流體。實(shí)驗(yàn)表明, 該泵具有功率低(如對(duì)于5. 5 mm

直徑的隔膜, 工作頻率在30 kHz, 泵送水速度為1μL /min, 功率僅為1 mW) 和批量加工的優(yōu)點(diǎn), 對(duì)于懸臂梁式微閥的微泵, 在400 Pa時(shí), 有較小的泄漏產(chǎn)生, 而對(duì)于橋式微閥的微泵, 在反向壓力為800 Pa時(shí), 幾乎沒有泄漏產(chǎn)生。

圖7　單向閥型壓電驅(qū)動(dòng)微泵剖面圖

Fig. 7　Cross2sectional view of a p iezoelectric micropumpwith one2way Parylene valves

C. L. Chen等人[ 24 ]在Parylene襯底上制作的電液動(dòng)力( EHD) 微泵, 電極采用鋸齒形, 間距為20μm, 電極寬度為10 μm, 微通道采用SU28 制作, 結(jié)構(gòu)如圖8。實(shí)驗(yàn)表明, 以異丙醇為工作液體, 當(dāng)施加電壓為20 V時(shí), 液體流速為190 mm /min, 在施加電壓為30 V時(shí), 泵送壓力為490 Pa,同時(shí)具有較低的功率。

圖8　電液動(dòng)力微泵結(jié)構(gòu)圖

Fig. 8　3D schematic of the flexible electrohydrodynamic micropump

2. 1. 3微通道

H. S. Noh等人[ 25 ]采用Parylene的熱鍵合工藝來制作Parylene微通道, 首先采用深反應(yīng)離子刻蝕制作硅微通道, 然后沉積Parylene C在硅微通道上, 同時(shí)Parylene沉積在純鐵片上, 在其上制作金電極, 最后在200 ℃真空箱內(nèi)將Parylene鍵合, 剝?nèi)ゼ冭F片以及采用lift2off工藝釋放Parylene 微通道。用這種方法, 通過控制Parylene沉積的厚度,可以在相同的硅模微通道上制作不同深寬比的Parylene微通道, 同時(shí)也可以制作多層結(jié)構(gòu)微通道(圖9 ) 。圖10 是應(yīng)用此方法制作的各種微通道(所有微通道的內(nèi)徑為8 0 μm 寬、5 0 μm 深、壁厚為1 0 μm) 。通過此方法, 可以快速低成本地制作Parylene微通道, 并通過釋放工藝可以獲得很好的Parylene微通道, 同時(shí)可以重復(fù)使用硅模,廣泛用于氣相色譜分析等微流體系統(tǒng)分析中。

2. 2　可植入微系統(tǒng)

Parylene作為可植入材料, 主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物體內(nèi)復(fù)雜的體液環(huán)境,會(huì)腐蝕大多數(shù)的MEMS和微電子材料, 然而卻不會(huì)影響Parylene, 這是由于Parylene不會(huì)在體液環(huán)境下被水降解。Parylene作為植入微電極陣列和微器件的包裝材料, 實(shí)驗(yàn)報(bào)道具有很好的生物性容性和生物穩(wěn)定性, 能夠長(zhǎng)期植入生物體中, 此外, 由于其良好的防滲透性, 能夠很好地保護(hù)微器件不被腐蝕[ 26 - 29 ] 。同時(shí), Parylene對(duì)細(xì)胞有很小的毒性,這使它有可能成為細(xì)胞生長(zhǎng)的平臺(tái)[ 30 - 31 ] 。Parylene以其優(yōu)異的生物相容性(美國FDA V I級(jí)認(rèn)證) 和生物穩(wěn)定性, 作為體內(nèi)長(zhǎng)期植入使用的生物醫(yī)用材料, 已經(jīng)被用于心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子醫(yī)療器械和可植入微系統(tǒng)中。

2. 2. 1　人工耳蝸

人工耳蝸是由植入人體的電極、接收器以及攜帶在人體外的言語處理器、麥克風(fēng)及傳送器等組成。外界聲音由麥克風(fēng)接收轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后傳送至言語處理器將信號(hào)放大、過濾, 并由傳送器傳送到接收器, 再產(chǎn)生電脈沖傳送到相應(yīng)植入微電極, 從而引起聽神經(jīng)纖維興奮并將聲音信息傳人大腦, 使耳聾患者重新獲得聽覺。人工耳蝸是最早應(yīng)用成功的可植入器件。據(jù)統(tǒng)計(jì), 全球現(xiàn)在約有3萬多耳聾患者使用了人工耳蝸, 同時(shí), 人工耳蝸技術(shù)也在不斷地發(fā)展和完善。

J. B. Wang等人[ 32 ]制作了采用Parylene C封裝的用于人工耳蝸植入的電極陣列, 由于Parylene C較低的楊氏模量, 使得電極探針具有很好的硬度和韌性, 同時(shí)可通過調(diào)整硅襯底的厚度來調(diào)整電極的柔軟性, 圖11 為制備的Parylene包裹的硅微電極陣列(探針臂為8 mm且分為8個(gè)部分, 每個(gè)部分有1個(gè)電極點(diǎn)) 。Parylene所具有的透明性, 使得在植入試驗(yàn)中能很好地監(jiān)測(cè)探針植入深度, 同時(shí),電極被Parylene 包裹, 即使電極破碎, 外層Parylene也將碎片連在一起, 從而減小手術(shù)傷害和植入傷害。整個(gè)裝置集成了位置傳感器和Parylene包裹的傳輸線, 實(shí)驗(yàn)表明, 該裝置能夠提高人工耳蝸聲音識(shí)別能力和位置的準(zhǔn)確性。J. Wu等人[ 33 ]在制作多通道聽覺假體時(shí), 變長(zhǎng)度的神經(jīng)刺激電極陣列也采用Parylene作為刺激電極的包裹材料, 從而提高植入器件的生物相容性。

圖11　以Parylene包裹的硅電極陣列

Fig. 11　The front and back sides of a Parylene2coveredsilicon electrode array

2. 2. 2　視網(wǎng)膜假體

全球視覺殘疾者有1. 4億人, 其中4 500萬為盲人, 全世界平均每5 s出現(xiàn)一個(gè)盲人, 失明已經(jīng)是影響人類生活質(zhì)量最嚴(yán)重的一種殘疾。原發(fā)性視網(wǎng)膜色素變性( retinitis p igmentosa, RP) 及老年性黃斑變性( age2related macular degeneration,ARMD) 由于視網(wǎng)膜外層進(jìn)行性變性, 引起光感受器退化, 是導(dǎo)致失明的主要原因。實(shí)驗(yàn)表明, 即使原發(fā)性視網(wǎng)膜色素變性和老年性黃斑變性導(dǎo)致的光感受器完全變性, 大部分的視網(wǎng)膜神經(jīng)細(xì)胞是保持完好的, 通過電刺激神經(jīng)細(xì)胞的方法可以獲得視覺[ 34 - 35 ] 。這提供了一種方法即避開受損的光感受器直接刺激視網(wǎng)膜從而獲得視覺信息。目前, 用刺激視網(wǎng)膜方法獲得視覺的研究可分為兩類: 視網(wǎng)膜下植入( subretinal imp lants) 技術(shù)和視網(wǎng)膜表面植入( ep iretinal imp lants) 技術(shù)。

視網(wǎng)膜上型是由圖像處理芯片將攝像機(jī)獲得的圖像轉(zhuǎn)化為相關(guān)信息, 通過編碼發(fā)射器發(fā)射到眼內(nèi)編碼接收器并將圖像數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為微小電流, 通過視網(wǎng)膜表面芯片電極刺激神經(jīng)節(jié)細(xì)胞。而視網(wǎng)膜下型是通過芯片直接從外界環(huán)境中接收光信號(hào), 并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào), 直接刺激殘余的視細(xì)胞, 產(chǎn)生不同程度的視覺效果。D. C. Rodger等人[ 36 ]采用聚合物Parylene制作了用于視網(wǎng)膜上型植入的柔性微電極陣列。采用單

層工藝制作了密度為256的視網(wǎng)膜鈦/鉑電極陣列,電極直徑為125 μm, 線寬為12 μm (圖12 ) 。為了增大電極密度, 發(fā)展了一種新的雙層工藝, 電極個(gè)數(shù)為1 024, 間距為60 μm (圖13 ) 。通過Parylene2Parylene的退火工藝, 防止了兩層Parylene薄膜之間的分層, 在加速試驗(yàn)中證明了電極壽命將超過一年。用相同工藝制作的測(cè)試電極生物試驗(yàn)表明, 基于Parylene的微電極陣列對(duì)組織或是生物體都有很小的機(jī)械傷害, 在動(dòng)物模型的脊柱刺激試驗(yàn)中證明了刺激電極的有效性。

此外,W. L i等人[ 37 ]還發(fā)展了一種用于視網(wǎng)膜上型植入的能量和數(shù)據(jù)傳輸?shù)耐耆踩胧骄€圈, 采用Parylene作為包裹材料。圖14 是制作的用于植入眼內(nèi)的微線圈, 線圈有10 匝, 最外層線圈直徑為9. 5 mm, 整個(gè)線圈厚度小于11 μm。相比于傳統(tǒng)的眼內(nèi)植入式線圈, 采用Parylene包裹的這種方法制作的線圈是非常柔性的和可折疊性的, 圖15證明了這種線圈的柔韌性。實(shí)驗(yàn)證明了線圈能量傳輸?shù)挠行? 通過熱處理的方法來增加線圈的壽命, 加速試驗(yàn)表明在人體環(huán)境下線圈的壽命可長(zhǎng)達(dá)20年。

S. R. Montezuma等人[ 38 ]報(bào)道了以不同材料作為視網(wǎng)膜下型植入體的包裹材料的生物相容性研究。研究發(fā)現(xiàn), 對(duì)于不同的植入材料, 都會(huì)對(duì)視網(wǎng)膜產(chǎn)生一定的變性作用, 而對(duì)于常用的Parylene和Polyimide, Parylene相對(duì)于Polyimide有更好的生物相容性, 它作為包裹材料相對(duì)于Polyimide能產(chǎn)生更小組織學(xué)破壞以及更小的植入體周圍的細(xì)胞反應(yīng)。

3　結(jié)　語

Parylene由于其優(yōu)異的性能, 逐漸成為MEMS領(lǐng)域青睞的聚合物材料。Parylene通過CVD在室溫下制備, 材料具有無應(yīng)力、無針孔覆蓋和良好的生物相容性等優(yōu)異的特性。本文主要介紹了Parylene在微流體系統(tǒng), 包括微閥、微泵和微通道, 可植入系統(tǒng)包括人工耳蝸和視網(wǎng)膜假體的應(yīng)用。近來的研究表明了Parylene MEMS廣泛應(yīng)用在各種MEMS微結(jié)構(gòu)、微傳感器和微驅(qū)動(dòng)器上, 相信將來Parylene將更多地應(yīng)用到完全集成微系統(tǒng)中。

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