HZO-含構造成阻止熱解管和相鄰元件之間傳熱的導管的材料處理體系

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2022-08-08 13:57:43

擇要：批露了一種材料處理體系，其阻止從其熱解管到一種或多種相鄰元件例如蒸發腔室或沉積腔室的紅外輻射傳輸。這種材料處理體系可包含具有非線性元件的至少一根導管。這種導管的非線性元件可排除穿過導管長度的視線的存在。非線性元件還可具有外形，所述外形使得氣體或蒸氣在有很少或沒有湍流的情況下賤動經過所述非線性元件，在其中材料處理體系的部分或悉數不含閥門的實施方式中，這可使氣體或蒸氣自由地流經材料處理體系，或者至少自由地流經材料處理體系的不含閥門的部分。
申請人： HZO股份有限公司
地址：美國猶他州
發明(設計)人： J·德姆普斯特 Y·惲 M·索倫森
主分類號： C23C16/00(2006.01)I
分類號： C23C16/00(2006.01)I

擇要：批露了一種材料處理體系，其阻止從其熱解管到一種或多種相鄰元件例如蒸發腔室或沉積腔室的紅外輻射傳輸。這種材料處理體系可包含具有非線性元件的至少一根導管。這種導管的非線性元件可排除穿過導管長度的視線的存在。非線性元件還可具有外形，所述外形使得氣體或蒸氣在有很少或沒有湍流的情況下賤動經過所述非線性元件，在其中材料處理體系的部分或悉數不含閥門的實施方式中，這可使氣體或蒸氣自由地流經材料處理體系，或者至少自由地流經材料處理體系的不含閥門的部分。

申請人： HZO股份有限公司

地址： 美國猶他州

發明(設計)人： J·德姆普斯特 Y·惲 M·索倫森

主分類號： C23C16/00(2006.01)I

分類號： C23C16/00(2006.01)I

法律狀況

2016-12-21	公開

注：本法律狀況信息僅供參考，即時正確的法律狀況信息須到國家知識產權局辦理專利登記簿副本。

其他信息

主權項	一種材料沉積體系，其包含:蒸發器；傳輸蒸氣的導管，其包含與所述蒸發器連通的第一端部,所述傳輸蒸氣的導管從所述蒸發器延長；熱解器，其包含與所述傳輸蒸氣的導管的第二端部連通的第一端部；傳輸反應性物質的導管，其包含與所述熱解器第二端部連通的第一端部；以及沉積腔室，所述沉積腔室與所述傳輸反應性物質的導管的第二端部連通,所述傳輸蒸氣的導管和所述傳輸反應性物質的導管中的至少一種包含具有基本上S形外形的非線性元件，所述非線性元件至少部分地排除穿過所述傳輸蒸氣的導管和/或所述傳輸反應性物質的導管團體長度的視線。

公開號	106255775A

公開日	2016-12-21

專利代理機構	上海專利商標事務所有限公司 31100

代理人	林高鋒樊云飛

頒證日

優先權	2014.01.28 US 61/932,769

國際申請	2015-01-28 PCT/US2015/013329

國際宣布	2015-08-06 WO2015/116703 EN

進入國家日期	2016.09.27