一、濕式清洗

噴淋清洗
在清洗槽內(nèi)安裝噴淋管，在氣相中將清洗液噴灑在被清洗物上的清洗方式。壓力可調(diào) 。

減壓清洗
在清洗槽內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，因?yàn)闇p壓，洗滌劑能較好地滲透到被清洗物和縫隙之間；和超聲波并用，清洗結(jié)果會(huì)大大加強(qiáng)。

噴霧清洗
在清洗槽內(nèi)安裝噴淋管，在氣相中將清洗液噴灑在被清洗物上的清洗方式。壓力可調(diào) 。

旋轉(zhuǎn)筒清洗
在清洗槽內(nèi)安裝旋轉(zhuǎn)裝配，同時(shí)旋轉(zhuǎn)筒體和攪拌被清洗物。多與噴流、超聲波清洗組合使用。

動(dòng)搖清洗
在清洗槽內(nèi)安裝動(dòng)搖機(jī)構(gòu)，裝入被清洗物，使之在清洗槽內(nèi)活動(dòng)，多與噴流、超聲波清洗組合使用。

一．真空加熱清洗

二．紫外線輻照清洗

三．放電清洗

 四.氣體沖洗

      氮?dú)庠诓牧贤庥^吸附時(shí)，因?yàn)槲侥苄。蚨敉庥^時(shí)間極短.即便吸附在器壁上，也很容易被抽走。行使氮?dú)獾倪@種性子沖洗真空體系，可以大大縮短體系的抽氣時(shí)間。如真空鍍膜機(jī)在放入大氣之前，先用干燥氮?dú)獬淙胝婵帐覜_刷一下再充入大氣，則下一抽氣循環(huán)的抽氣時(shí)間可縮短近一半，其緣故原由為氮分予的吸附能遠(yuǎn)比水氣分子小，在真空下充入氮?dú)夂螅肿酉缺徽婵帐冶谖搅恕Ｒ驗(yàn)槲轿皇强隙ǖ模缺坏肿诱紳M了，其吸附的水分子就很少了，因而使抽氣時(shí)間縮短了。假如體系被擴(kuò)散泵油噴濺污染了，還可以行使氮?dú)鉀_洗法來(lái)清洗被污染的體系.一樣平常是一邊對(duì)體系進(jìn)行烘烤加熱，一邊用氮?dú)鉀_洗體系，可將油污染消弭。

      這種方法分外適用于大型超高不銹鋼真空體系的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對(duì)于某些大型超高真空體系的真空室和真空元件，為了獲得原子態(tài)的清潔外觀，消弭其外觀污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗，真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空體系等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空體系安裝前及裝置期間。在真空體系安裝后(或體系運(yùn)行后)，因?yàn)檎婵阵w系內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定，這時(shí)對(duì)它們進(jìn)行除氣處理就很困難，一旦體系受到(無(wú)意)污染(重要是大原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?，通常要拆卸后重新處理再安裝．而用反應(yīng)氣體工藝，可以進(jìn)行原位在線除氣處理．有用地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理：在體系中引述氧化性氣體(O2、N0 )和還原性氣體(H2、N H3)對(duì)金屬外觀進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗，消弭污染，以便獲得原子態(tài)的清潔金屬外觀。外觀氧化／還原的速率取決于污染的情況及金屬外觀的材質(zhì)，外觀反應(yīng)速率的大小通過(guò)調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來(lái)控制。對(duì)于每一種基材而言，正確的參數(shù)要通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定.對(duì)于不同的結(jié)晶取向，這些參數(shù)是不同的．

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