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Parylene AF4（3345-29-7）沉積工藝及與parylene C（28804-46-8）膜性能對比研究 1薄膜性能及制備工藝 1. 1制備原理及沉積工藝 Paiylene AF4薄膜的制備同樣采用化學氣相沉積法，其化學反應方程式如

N粉 安 全 技 術 說 明 書 1.化學品及企業標識 產品名稱：對二甲苯二聚體 公司：蘇州亞科科技股份有限公司 地址：蘇州工業園區金海路17號 電話：0512-87182055 傳真：0512-87182056 2. 危險性

耐高溫抗紫外薄膜Parylene F |1785-64-4| 2017-10-9 20世紀60年代，美國聯合碳化物公司推出了Parylene系列高分子敷型涂層材料，由于優異的阻隔性能，Parylene材料在防潮、防霉、防鹽霧的三防涂

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派瑞林F與其他材料的力學性能表格 (Mechanicalproperties of parylene) 測試方法：ASTM D882 特性(Property) 單位(Unit) 派瑞林的類型（parylene Type） N C D F-VT4 F-AF4 拉伸模量 (tensile modulus) Gpa 3.2 2.4 2.8

目前，派瑞林類型的材料已經廣泛的應用在電子類產品中，派瑞林家族中有商業價值的材料類型主要分為4種，分別為派瑞林N、派瑞林C、派瑞林F、派瑞林Ht。 隨著人們對防水材料的要求

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1PECVD的種類 等離子體化學氣相淀積是在低壓化學氣相淀積的同時，行使輝光放電等離子對過程施加影響，在襯底上制備出多晶薄膜。這種方法是日本科尼卡公司在1994年提出的，其等離