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3，脈沖偏壓 產(chǎn)生震動等離子體。在減小脈沖占空比的同時，進(jìn)步脈沖電源的強(qiáng)度可使等離子體的密度和溫度增大和增高。對所有類型的基片（導(dǎo)電不導(dǎo)電）轟擊結(jié)果加強(qiáng)。使得二次電

Plasma refers to the forth condition of matter. Plasma is a partially or totally ionized gas, thus, that particular gas condition in which neutral molecules, positive ions and free electrons are all present at the same time. In this case, p

當(dāng)在有機(jī)薄膜外觀沉積納米級的無機(jī)物后，PVC 中鄰苯類的增塑劑遷移量將由基膜的16.2% 降落到2.4%，低于歐盟3% 的標(biāo)準(zhǔn)，食品安全性大大進(jìn)步。 包裝產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，推動了市場對包裝

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真空體系一旦啟動，體系管道中就存在定向的氣體流動，即淡薄氣體沿管道的流動。 氣體在管道中的流動狀況不同，管道的流導(dǎo)也不一樣，也就是說，管道對氣體的流動的影響，不僅取

1PECVD的種類 1.1射頻加強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相淀積（RF-PECVD） 等離子體化學(xué)氣相淀積是在低壓化學(xué)氣相淀積的同時，行使輝光放電等離子對過程施加影響，在襯底上制備出多晶薄膜。這種方